公开(公告)号：CN216248023U

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202122867772.3

申请日：2021-11-22

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 朴林华 ,  张严 ,  佟嘉程 ,  王灯山

IPC: G01P5/08

Abstract: 本申请公开了一种动热源式z轴微机械角速度传感器，该z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。

公开(公告)号：CN214621216U

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202121104363.1

申请日：2021-05-21

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 张严 ,  朴林华 ,  王灯山

IPC: G01C19/58

Abstract: 本申请公开了一种四电桥十字流式微机械z轴薄膜陀螺，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，所述敏感层的上表面设置有呈正方形型结构的四个加热器、八个热敏电阻、八个平衡电阻和四个隔离电阻；加热器的通电方式为周期式方波驱动；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型陀螺的输出由四个电桥不平衡电压取平均后输出，误差小，精度最高；采用半桥，平衡电阻的阻值是热敏电阻的数百倍，有利于电压信号进一步放大时的阻抗匹配，防止干扰，抗干扰性强。