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公开(公告)号：CN113985057A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111389942.X
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器及其加工方法，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。
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公开(公告)号：CN113985056A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111389930.7
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本申请公开了一种动热源Z轴微机械角速度传感器及其加工方法，该Z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
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公开(公告)号：CN114019186B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202111410354.X
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。
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公开(公告)号：CN113985071B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202111410353.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。
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公开(公告)号：CN113985069B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111410209.1
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116626336A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310668381.X
申请日：2023-06-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种三热源三轴微机械加速度计，其包括基底层、敏感层、和盖板；敏感层分三部分，分别检测X、Z、Y轴加速度，每个位置中心下方设置腔体，腔体中心设置加热器；敏感层检测X、Y轴加速度部分包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；检测Z轴加速度部分热敏电阻在中心腔体内；加热器和热敏电阻的通电方式均为直流电；三轴微机械加速度计加热器在检测腔体中心，敏感层在中心检测腔体上方；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，一致性好，便于引入传感器调理电路，进行温度补偿和非线性度补偿，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。
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公开(公告)号：CN116626335A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310668199.4
申请日：2023-06-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种自带平衡电阻的微机械加速度计，其包括基底层、敏感层、和盖板；敏感层中心位置下方设置腔体，腔体中心设置加热器；敏感层包含有两个热敏电阻和两个平衡电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为直流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，一致性好，便于引入传感器调理电路，进行温度补偿和非线性度补偿，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现X轴加速度的测量，具有灵敏度适中，测量速度快、结构紧密、体积小、重量轻、成本低、易于智能化和集成化等特点。
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公开(公告)号：CN113985071A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111410353.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。
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公开(公告)号：CN216248024U
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202122871093.3
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本实用新型公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。
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公开(公告)号：CN216209244U
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202122867754.5
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本实用新型公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。
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