公开(公告)号：CN116697177A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310818990.9

申请日：2023-07-05

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 董云宁 ,  卢耀文 ,  王汐月 ,  李京 ,  崔健 ,  崔玉妹 ,  佟亚珍 ,  王欢 ,  张湧颀 ,  姚雪琦 ,  丁双 ,  陈俊儒 ,  豆运来

IPC: F16L55/00 ,  F04B51/00 ,  F15D1/02

Abstract: 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。

公开(公告)号：CN112945356B

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202110116702.6

申请日：2021-01-28

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  董云宁 ,  杨传森 ,  王汐月 ,  徐宇杰 ,  陈俊儒

IPC: G01F25/10 ,  G01M3/00 ,  G01M3/26

Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。

公开(公告)号：CN112945356A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202110116702.6

申请日：2021-01-28

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  董云宁 ,  杨传森 ,  王汐月 ,  徐宇杰 ,  陈俊儒

IPC: G01F25/00 ,  G01M3/00 ,  G01M3/26

Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。