公开(公告)号：CN110872473A

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201910813838.5

申请日：2019-08-30

Applicant: 三星电子株式会社 ,  凯斯科技股份有限公司

Inventor： 朴尚铉 ,  李晓山 ,  许元己 ,  金廷润 ,  黄晙夏 ,  权昌吉 ,  李性表

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/306

Abstract: 本申请提供一种用于化学机械抛光工艺的浆料组合物，包括：约0.1％的重量到约10％的重量的抛光颗粒；约0.001％的重量到约1％的重量的胺化合物；约0.001％的重量到约1％的重量的第一阳离子化合物，其中，所述第一阳离子化合物是氨基酸；约0.001％的重量到约1％的重量的第二阳离子化合物，其中，所述第二阳离子化合物是有机酸；以及约1％的重量到约5％的重量的非离子多元醇，其中，所述非离子多元醇包括至少两个羟基。

公开(公告)号：CN109689828A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780054508.1

申请日：2017-06-21

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 崔洛炫 ,  朴光洙 ,  金廷润 ,  黄晙夏

IPC: C09K3/14 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明涉及表面改性胶体二氧化铈抛光粒子、其制造方法及包括此的抛光料浆组合物，根据本发明的一个实施例的表面改性胶体二氧化铈抛光粒子，包括：胶体二氧化铈抛光粒子；及铈元素及羟基(-OH)，形成在所述胶体二氧化铈抛光粒子表面上。