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公开(公告)号：CN103620499A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280030770.X
申请日：2012-06-18
Applicant: 中央硝子株式会社
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/16
Abstract: 本发明的正型抗蚀剂组合物的特征在于，其含有含氟脂肪族醇、聚合物、乙烯基化合物和光产酸剂，含氟脂肪族醇为一元醇、所含有的碳原子数为2～8且氢原子的个数少于等于氟原子数的个数。关于该正型抗蚀剂组合物，溶解或溶胀等的对于有机材料的影响小，可以通过有机聚合物基板的湿式涂布形成抗蚀膜，且基板上形成的抗蚀膜、抗蚀图案显示优异的耐溶剂性。
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