公开(公告)号：CN216668818U

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202220137227.0

申请日：2022-01-17

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 余振宇 ,  郎婷婷 ,  肖美玉

IPC: G01D21/02 ,  G01K11/00 ,  G01N21/41

Abstract: 本实用新型公开了一种同时测量温湿度的超材料传感器，所述传感器由石英衬底层、聚二甲基硅氧烷层、硅结构层和聚乙烯醇层组成；当光束正入射到所述传感器时，会引起电偶极子谐振和磁偶极子谐振，形成两个明显的波谷，当外界的温度和湿度变化时，分别影响聚二甲基硅氧烷层和聚乙烯醇层的折射率，从而引起两个波谷波长的偏移；根据两个波长偏移，可以反推出温度和湿度的变化量，实现温湿度同时测量的效果；仿真结果表明，该传感器的两个波谷对于温度传感的灵敏度为‑0.224nm/℃和‑0.069nm/℃，对于湿度传感的灵敏度为‑0.618nm/％和‑0.521nm/％；所述传感器灵敏度较高，可实现温湿度同时测量，可批量生产，广泛应用于各种环境中。

公开(公告)号：CN215894384U

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202122317675.7

申请日：2021-09-24

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 宁俭华 ,  郎婷婷 ,  余振宇 ,  姜蓬波 ,  刘宇秋 ,  孔文霞

IPC: G01N21/3581

Abstract: 本实用新型公开了一种基于太赫兹超材料的高灵敏度传感器，该传感器从底部向上依次包括石英衬底层、SU‑8光刻胶层、金属超材料层；所述SU‑8光刻胶层和金属超材料层周期性排列在所述石英衬底层上，金属超材料层的镂空图案为一个带交叉凹口的环形。当处于不同折射率环境时，透射谐振峰会产生漂移，以实现折射率传感。本实用新型可以实现折射率传感，具有高灵敏度，并且结构简单，容易加工。