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公开(公告)号：CN204530021U
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201520197443.4
申请日：2015-04-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C30B25/12 , G01N23/227
Abstract: 本实用新型提供一种用于分子束外延生长和角分辨光电子能谱测试的样品托，包括：圆形托、压片、方形托；所述压片通过固定件固定在所述圆形托上；所述方形托包括样品承载部和与所述样品承载部相连的手柄，所述样品承载部压在所述压片和圆形托之间；所述圆形托上还设置有机械手进出的槽体和观察机械手是否抓取到所述方形托的观察孔；所述手柄上设置有抓取孔，机械手通过抓取孔抓取并抽出方形托。本实用新型设计的样品托既可以适用于分子束外延设备中的样品架，同时也适用于角分辨光电子能谱测试中的样品架，从而实现分子束外延/角分辨光电子能谱仪集成系统原位生长和原位电子结构测量。
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