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公开(公告)号：CN102624384A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210134270.2
申请日：2012-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H03L7/08
Abstract: 本发明提供一种带有频率自扫描功能的锁相环，应用在传感器及其接口电路中，包括：用以输出一频率两倍于输入信号或参考信号且占空比为50%的方波信号的鉴相器，对方波信号的高、低电平持续时间进行计数的超前滞后计数器，预设有相位锁定模式及频率自扫描模式的中央处理器，用以接收到频率控制字后进行相位累加并依据预设的正弦函数表进行数模转换后输出正弦波信号的数字频率合成器，及将正弦波信号转换为方波信号以作为参考信号输出至鉴相器的整形器，本发明的锁相环用于解决现有传感器接口电路领域的混合锁相环，其锁定范围比较受限，关键参数会因元件的离散而改变，易受温度漂移和器件老化的影响，且不利于接口电路系统各功能的集成的问题。
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公开(公告)号：CN1880211A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200610023320.4
申请日：2006-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于电磁激励高阶模态谐振硅微机械悬臂梁的驱动结构、制作方法及应用，属微机械传感器技术领域；其特征在于采用与悬臂梁高阶谐振模态的振动函数曲线相匹配的优化布置电磁激励线圈，产生与该模态悬臂梁相应位置运动方向相同的洛伦兹力驱动悬臂梁振动，更好地激励悬臂梁的高阶谐振模态，提高悬臂梁的品质因数和质量分辨率；同时用溅射制作与驱动铝线圈布局一致，但有足够的宽度和厚度的铬薄膜，确保完全覆盖在铝线圈的表面和侧壁，形成良好的保护，避免了传统介质钝化层淀积后形成的应力引起的悬臂梁谐振频率的变化，同时实现了驱动线圈的有效可靠保护；本发明特点是结构简单、制作方便、容易实现。
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公开(公告)号：CN108020688B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201711042279.X
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器及其系统在瞬时冲击过程中响应输出电压与时间的关系，即传感器受到瞬时冲击的时域谱；将冲击过程所记录的曲线按时间顺序划分出来，其中至少包含三个以上明显不同的响应特征部分；提取所述待检测加速度传感器在所述三个以上不同时间段的电压与时间关系数据曲线；依次对每一个时间段的数据分别进行傅里叶变换，提取每一个时间域上经过傅里叶变换后的明显典型信号峰；比较上述不同时段信号峰，确定加速度传感器的共振频率峰及其频率。本发明通过一次测试即可识别和确定噪声信号峰和加速度传感器的一阶固有频率峰。
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公开(公告)号：CN108037315A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711033844.6
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种高冲击加速度计热灵敏度漂移的测试装置，包括温控箱、金属杆、第一信号放大电路、第二信号放大电路和计算机，所述金属杆一端用于固定待测加速度计，另一端用于固定参考加速度计，所述用于固定待测加速度计的一端置于温控箱内，用于固定参考加速度计的一端置于温控箱外；所述第一信号放大电路用于放大所述待测加速度计的输出信号，所述第二信号放大电路用于放大参考加速度计的输出信号；所述计算机分别与第一信号放大电路和第二信号放大电路输出端相连，通过比较法得到待测加速度计灵敏度输出随温度的变化关系。本发明还涉及测试方法。本发明具有冲击加速度大、直接、快速、安全可靠和较为准确的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101712451A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910198994.1
申请日：2009-11-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(Carboxyethylsilanetriol，sodium salt；25％)或者N-(三甲氧基硅丙基)乙二胺三乙酸钠盐水溶液(N-(Trimethoxysilypropyl)ethylenediamine triacetic acid，trisodium salt；45％)为薄膜制造原料，配制成一定浓度与酸度的水溶液，将经过严格清洗的微悬臂梁没入其中，氮气保护下加热反应10-100小时。反应结束后，用大量的去离子水冲洗微悬臂梁，即可制得羧酸功能化的微悬臂梁器件。
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公开(公告)号：CN101539588A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910049634.5
申请日：2009-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模态的共振频率信息，利用获得的原始数据进行频谱分析，获得微结构的模态共振频率。加速度传感器模态的共振频率包括器件在敏感方向和非敏感方向的同一结构的不同共振频率。通过确定加速度传感器不同模态的一阶共振频率，还可以获取微结构加工制造的结构参数，验证结构尺寸设计的正确性，可用来分析器件工作状态。测试方法适合于具有全桥结构的高量程压阻、电容等类型的加速度传感器、压力传感器等。
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公开(公告)号：CN100425524C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200610023320.4
申请日：2006-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于电磁激励高阶模态谐振硅微机械悬臂梁的驱动结构、制作方法及应用，属微机械传感器技术领域；其特征在于采用与悬臂梁高阶谐振模态的振动函数曲线相匹配的优化布置电磁激励线圈，产生与该模态悬臂梁相应位置运动方向相同的洛伦兹力驱动悬臂梁振动，更好地激励悬臂梁的高阶谐振模态，提高悬臂梁的品质因数和质量分辨率；同时用溅射制作与驱动铝线圈布局一致，但有足够的宽度和厚度的铬薄膜，确保完全覆盖在铝线圈的表面和侧壁，形成良好的保护，避免了传统介质钝化层淀积后形成的应力引起的悬臂梁谐振频率的变化，同时实现了驱动线圈的有效可靠保护；本发明特点是结构简单、制作方便、容易实现。
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公开(公告)号：CN108982252A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810580967.X
申请日：2018-06-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种双面胶粘性力学行为的温度特性测试装置，包括一金属杆，该金属杆由一支撑结构支撑并可轴向自由移动；该金属杆一端为冲击端，该冲击端与一冲击摆锤相对中；另一端则通过待测双面胶固定一目标加速度计并置于温控箱内；所述金属杆上还设有与目标加速度计间隔开的参考双面胶，并由该双面胶固定一参考加速度计；目标加速度计和参考加速度计分别通过导线连接到一信号放大器，信号放大器通过导线连接到一计算机。本发明还涉及一种新的测试方法。本发明具有使测试简捷和直观的特点。
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公开(公告)号：CN101712451B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910198994.1
申请日：2009-11-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(Carboxyethylsilanetriol，sodium salt；25％)或者N-(三甲氧基硅丙基)乙二胺三乙酸钠盐水溶液(N-(Trimethoxysilypropyl)ethylenediamine triacetic acid，trisodium salt；45％)为薄膜制造原料，配制成一定浓度与酸度的水溶液，将经过严格清洗的微悬臂梁没入其中，氮气保护下加热反应10-100小时。反应结束后，用大量的去离子水冲洗微悬臂梁，即可制得羧酸功能化的微悬臂梁器件。
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