一种太赫兹波段MEMS复合梁开关
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116799451A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310783506.3

    申请日:2023-06-29

    IPC分类号: H01P1/10 B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种太赫兹波段MEMS复合梁开关,属于射频前端器件技术领域。其由直流端口金属块,直流偏置线,微带线匹配结构,复合梁,中间导通结构,金属电极,氮化硅绝缘层,硅基衬底,金属地组成。该开关为复合固支梁电容式开关,复合梁由二氧化硅材料固支梁及吸附在其下方的金属梁组合而成,直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极,可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态,分别对应着开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段350GHz频率以下实现高隔离度:微秒量级的响应时间,且不易发生破坏性形变;结构简单、制造方便,可以通过硅基工艺进行制造。

    一种太赫兹宽带宽角方向图可重构天线

    公开(公告)号:CN116154471A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202310358689.4

    申请日:2023-04-06

    IPC分类号: H01Q1/50 H01Q3/26 H01Q25/00

    摘要: 本发明提供一种太赫兹宽带宽角方向图可重构天线,属于射频MEMS领域。该天线包括倾斜波束辐射单元、渐变巴伦、馈电网络、MEMS开关网络以及电压偏置线组;馈电网络包括一根微带主馈线和四根微带支线;三个电压偏置线组和一根微带主馈线呈十字形分布,微带主馈线的外端与渐变巴伦连接,微带主馈线的内端通过两级分叉结构过渡到四根微带支线;四个倾斜波束辐射单元分别与一微带支线连接;MEMS开关网络包括三组开关结构,每个分叉结构处的电压偏置线组用于控制该处开关结构的开闭,从而实现馈电网络中相应微带线的通断。本发明结构简单、制造方便,可以实现快速制造和集成,并可实现方位向波束扫描。

    一种太赫兹波段方向图可重构天线

    公开(公告)号:CN115207619A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210879322.2

    申请日:2022-07-25

    摘要: 本发明公开了一种太赫兹波段方向图可重构天线,属于卫星通信技术领域。该天线包括底层的馈电网络、中间层的介质和顶层的天线贴片;馈电网络上设有四个射频开关,四个射频开关和天线贴片上的四个辐射单元一一对应;天线贴片为两个辐射片和四个辐射分支组成的一体式结构;四个辐射分支的端部相连于一点构成X型结构,且四个辐射分支关于其相连的一点中心对称;两个辐射片均连接在X型结构的中心点上,且分别位于X型结构的上、下两侧;辐射分支与其相邻的辐射片之间具有渐变槽结构,且渐变槽从内至外宽度渐增;渐变槽的内端馈电处刻蚀有用于与馈电网络匹配的方形孔。本发明具有结构简单,设计方便,增益高,前后比高,辐射范围大等特点。