公开(公告)号：CN112285378A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202011129449.X

申请日：2020-10-21

Applicant: 中北大学 ,  中北大学南通智能光机电研究院

Inventor： 王俊强 ,  李孟委 ,  高经武 ,  刘佳政

IPC: G01P5/12 ,  G01P13/02 ,  G01D21/02

Abstract: 一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片，传感器包括：玻璃衬底，玻璃衬底上开设有多个玻璃通孔，玻璃通孔内设置有导热金属；测温组件，设置在玻璃衬底上表面且位于玻璃通孔顶部，用于检测电阻的变化；加热组件，设置在玻璃通孔底部，用于产生测量基准温度；以及互连组件，设置在互连组件两侧，导出测温组件的电信号。本发明的有益效果在于，本发明采用双面布局的形式，玻璃衬底上表面分布有检测单元测温，下表面设置有加热电阻加热，加热电阻发出的热量能够以最短的距离传导至石墨烯测温单元处，减少了单面布局的传感器热量由衬底表面传导至衬底背面的时间，因此能够大幅度的提高测风的精度、灵敏度以及响应速率。

公开(公告)号：CN114724868A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210448688.4

申请日：2022-04-24

Applicant: 中北大学南通智能光机电研究院 ,  中北大学

Inventor： 闫欣雨 ,  何晓妹 ,  毛喜玲 ,  王俊强 ,  李孟委

IPC: H01G11/86 ,  H01G11/84 ,  H01G11/56 ,  H01G11/36 ,  H01G11/32 ,  H01G11/26 ,  H01G11/30

Abstract: 本发明公开了一种石墨烯导电水性浆料印刷的微型超级电容器制备方法，首先采用石墨烯为导电活性材料，通过不同配比的粘结剂调和成所需石墨烯导电浆料；其次通过丝网印刷的方式将其制备在柔性PET基底上，作为正负两极；然后以PVA‑H2SO4为电解质，通过银浆、铜胶带、Kapton胶带为辅助工具，组装成微型超级电容器。制备得到的对称型微型超级电容器具有良好的柔性和稳定的机械性能，而且根据不同的实际应用需求，不仅可以去柔性超级电容器的形状面积进行有效调控，还可以实现任意数量柔性器件的串并联集成，有效定制电压和电流。

公开(公告)号：CN114166897A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202111362217.3

申请日：2021-11-17

Applicant: 中北大学南通智能光机电研究院 ,  中北大学

Inventor： 王俊强 ,  曹婧姣 ,  吴张南 ,  闫欣雨 ,  李孟委

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯微结构气体传感器，敏感膜由石墨烯组成，布置在上层隔离层的上表面，上层隔离层的下表面与下层隔离层的上表面设有加热电极，衬底上表面长有下层隔离层，衬底下部与基板通过金属键合，通过引线柱将检测单元与外部相连，从而将不同的气体成分和浓度可以对应不同的电信号传递出来。石墨烯的二维结构、高导电性及其超高的有效比表面积，使得传感器在不同温度、湿度下均具有良好的气敏性能，加热电极进一步提高了器件的灵敏度和响应速度，隔离层的设置减小了电极之间的耦合等效性。该方法充分发挥了微加工技术与二维材料石墨烯的优点，制备方法工艺简单，适合于气体传感器的规模化制备，在气体检测方面具有广泛的应用。

公开(公告)号：CN214622709U

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202022353248.X

申请日：2020-10-21

Applicant: 中北大学 ,  中北大学南通智能光机电研究院

Inventor： 王俊强 ,  李孟委 ,  高经武 ,  刘佳政

IPC: G01P5/12 ,  G01P13/02 ,  G01D21/02

Abstract: 一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片，传感器包括：玻璃衬底，玻璃衬底上开设有多个玻璃通孔，玻璃通孔内设置有导热金属；测温组件，设置在玻璃衬底上表面且位于玻璃通孔顶部，用于检测电阻的变化；加热组件，设置在玻璃通孔底部，用于产生测量基准温度；以及互连组件，设置在互连组件两侧，导出测温组件的电信号。本实用新型的有益效果在于，本实用新型采用双面布局的形式，玻璃衬底上表面分布有检测单元测温，下表面设置有加热电阻加热，加热电阻发出的热量能够以最短的距离传导至石墨烯测温单元处，减少了单面布局的传感器热量由衬底表面传导至衬底背面的时间，因此能够大幅度的提高测风的精度、灵敏度以及响应速率。

公开(公告)号：CN214010600U

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202023077937.9

申请日：2020-12-20

Applicant: 中北大学南通智能光机电研究院 ,  中北大学

Inventor： 王俊强 ,  黄佳维 ,  毛喜玲 ,  李孟委

IPC: G01L1/22 ,  G01L9/06

Abstract: 本实用新型属于高温压力测试技术领域，具体涉及一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器，包括封装外壳、上端盖、陶瓷基座、检测基片和互连组件，所述封装外壳的顶部设置有上端盖，所述封装外壳的内部设置有陶瓷基座，所述陶瓷基座中部开设有方形安装槽，所述检测基片设置在陶瓷基座的方形安装槽内，所述互连组件的一端与检测基片连接，所述互连组件的另一端与外部设备进行连接，从而将压力信号传递出来。本实用新型利用二维材料石墨烯纳米膜作为测压元件，极大提高了压力传感器的响应速度；同时本实用新型极大提高了传感器的高温耐受性、气密性和可靠性，可以20MPa的高压环境下，700℃以上可以稳定工作。本实用新型用于压力的检测。