一种基于MEMS的雪花型单刀五掷开关

    公开(公告)号:CN110571102A

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201911009966.0

    申请日:2019-10-23

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于单刀五掷开关技术领域,具体涉及一种基于MEMS的雪花型单刀五掷开关,包括衬底、输入信号线和输出信号线,所述输入信号线和输出信号线固定在衬底上,所述输入信号线有一条,所述输出信号线有五条,所述输入信号线与输出信号线连接,每条输出信号线上均设有开关。本发明的结构设计简单对称,体积较小,触点采用双触点结构,相较于单触点而言,双触点的有效接触面积大一点,提高了开关下拉时与触点接触的可靠性,当静电力作用于开关上电极时,双触点结构可以减小开关下拉带来的冲击力,作为缓冲,并有效的降低上电极和触点的形变程度,也大大提高了开关的寿命。本发明用于微波信号的选通切换。

    一种星型单刀四掷射频开关

    公开(公告)号:CN110127593A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910347504.3

    申请日:2019-04-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于射频MEMS领域,具体涉及一种星型单刀四掷射频开关。一种星型单刀四掷开关,主要由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和触点组成,微波传输线和驱动电极设置在衬底上,上电极为直板型结构,下电极采用带弹性梁的双触点。微波传输线采用星型结构功分器将输入信号功率分成四个相等的信号进行输出。从微波传输角度来讲,星型结构更为高效,各支路之间的隔离度更好,平衡度高。由此设计的单刀四掷开关插损较小,各路幅值和相位一致性更好。

    一种基于单刀双掷开关级联的电子校准件

    公开(公告)号:CN110780252B

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN201911093446.2

    申请日:2019-11-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于电子校准件技术领域,具体涉及一种基于单刀双掷开关级联的电子校准件,包括衬底,所述衬底表面上设置有微波传输组件,所述衬底表面上设置有50Ω/75Ω负载,所述微波传输组件与50Ω/75Ω负载连接;所述微波传输组件包括对称设置的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、设置在信号线单元所连接开关结构下方的驱动电极。本发明具有结构简单,体积小,直通插入损耗小,各个校准状态性能优越等特点。从微波传输角度来讲,射频MEMS单刀双掷开关网络更为高效,改善了单个支路的信号干扰,提高了开关各支路之间的传输性能。本发明用于矢量网络分析仪的精准校准。

    一种基于单刀四掷开关的4×4全交换矩阵开关

    公开(公告)号:CN112164625A

    公开(公告)日:2021-01-01

    申请号:CN202011091062.X

    申请日:2020-10-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于矩阵开关技术领域,具体涉及一种基于单刀四掷开关的4×4全交换矩阵开关,包括衬底、TSV通孔、信号线网络、地线单元,所述衬底有四个,所述衬底上设置有信号线网络、地线单元,所述地线单元设置在信号线网络的两侧,四个所述衬底通过键合材料依次粘连。本发明主要由4组单刀四掷开关级联的开关矩阵通过TSV通孔构成,具有结构简单,体积小,直通插入损耗小,快速多通道传输等特点;从微波传输角度来讲,本发明改善了单个支路的信号干扰,提高了开关各支路之间的传输性能;并且本发明在工作频率范围内可进行4路信号的快速切换,有着较强的实用性,可实现卫星的高效通信要求。本发明用于微波信号的选通切换。

    一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器

    公开(公告)号:CN110783673A

    公开(公告)日:2020-02-11

    申请号:CN201911085815.3

    申请日:2019-11-08

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于可调滤波器技术领域,具体涉及一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器,包括衬底,所述衬底上固定有两个镜像设置的单刀多掷开关,所述单刀多掷开关包括一个输入端和至少两个输出端,所述单刀多掷开关的输入端连接有输入信号线,两个单刀多掷开关的输出端之间设置有交指型滤波器,所述单刀多掷开关的输出端与交指型滤波器之间通过输出信号线连接,所述输入信号线和输出信号线的两侧设有地线。本发明可减小整体系统尺寸,降低开关功耗,具有高Q值、低插损、低功耗、高线性度、易集成等优点。在0-20GHz的范围内,有着优越的实用性。本发明可实现DC-20GHz的多通道选通,实现了MEMS开关与滤波器的高度集成。本发明用于不同频率的滤波。

    一种K型单刀四掷射频MEMS开关

    公开(公告)号:CN110137634A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910385396.9

    申请日:2019-05-09

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于射频MEMS领域,具体涉及一种K型单刀四掷射频开关。一种K型单刀四掷开关,主要由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和触点组成,微波传输线和驱动电极设置在衬底上,上电极为直板型结构,下电极采用带弹性梁的双触点。微波传输线采用K型结构功分器将输入信号功率分成四个均等的信号进行输出。从微波传输角度来讲,K型结构更为高效,改善了电流的平滑流动,提高了开关各支路之间的传输性能。由此设计的单刀四掷开关插损较小,隔离度等性能更好。此外,悬臂梁上所开的释放孔有效的减少了整个悬臂梁受到的应力,大大提高了开关的隔离度。

    一种T型四悬臂梁式电子校准件开关

    公开(公告)号:CN108508392A

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201810641584.9

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 一种T型四悬臂梁式电子校准件开关,包括:提供支撑基础的衬底,设置在衬底上的微波传输组件,以及封装微波传输组件的封装组件;微波传输组件包括:对称设置的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、导通地线单元的空气桥单元和设置在信号线单元下方的驱动电极。与传统的单刀双掷开关相比具有明显的优势,射频MEMS开关,具有四个悬臂梁组成对称结构,既减小了插入损耗又提升了回波损耗,同时开关的隔离度也十分的优越。于此也增强了开关寿命和微波性能。可实现DC-40GHz的电子校准,降低了电路复杂度,简化了校准过程,提高了定标效率和校准精度,实现了射频MEMS开关在更高频段矢量网络分析仪校准领域的应用。

    一种K型单刀四掷射频MEMS开关

    公开(公告)号:CN210723300U

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201920659189.3

    申请日:2019-05-09

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型属于射频MEMS领域,具体涉及一种K型单刀四掷射频开关。一种K型单刀四掷开关,主要由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和触点组成,微波传输线和驱动电极设置在衬底上,上电极为直板型结构,下电极采用带弹性梁的双触点。微波传输线采用K型结构功分器将输入信号功率分成四个均等的信号进行输出。从微波传输角度来讲,K型结构更为高效,改善了电流的平滑流动,提高了开关各支路之间的传输性能。由此设计的单刀四掷开关插损较小,隔离度等性能更好。此外,悬臂梁上所开的释放孔有效的减少了整个悬臂梁受到的应力,大大提高了开关的隔离度。

    一种T型四悬臂梁式电子校准件开关

    公开(公告)号:CN208314176U

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201820956585.8

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 一种T型四悬臂梁式电子校准件开关,包括:提供支撑基础的衬底,设置在衬底上的微波传输组件,以及封装微波传输组件的封装组件;微波传输组件包括:对称设置的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、导通地线单元的空气桥单元和设置在信号线单元下方的驱动电极。与传统的单刀双掷开关相比具有明显的优势,射频MEMS开关,具有四个悬臂梁组成对称结构,既减小了插入损耗又提升了回波损耗,同时开关的隔离度也十分的优越。于此也增强了开关寿命和微波性能。可实现DC-40GHz的电子校准,降低了电路复杂度,简化了校准过程,提高了定标效率和校准精度,实现了射频MEMS开关在更高频段矢量网络分析仪校准领域的应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种星型单刀四掷射频开关

    公开(公告)号:CN210710730U

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201920591609.9

    申请日:2019-04-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型属于射频MEMS领域,具体涉及一种星型单刀四掷射频开关。一种星型单刀四掷开关,主要由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和触点组成,微波传输线和驱动电极设置在衬底上,上电极为直板型结构,下电极采用带弹性梁的双触点。微波传输线采用星型结构功分器将输入信号功率分成四个相等的信号进行输出。从微波传输角度来讲,星型结构更为高效,各支路之间的隔离度更好,平衡度高。由此设计的单刀四掷开关插损较小,各路幅值和相位一致性更好。

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