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公开(公告)号：CN1535559A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN02805984.0
申请日：2002-08-29
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 下野隆
CPC classification number: H01J35/045 , H05G1/30 , H05G1/34
Abstract: 本发明之X光产生装置具有：一阴极电极15、一用以控制该阴极电极15所生电子束e之栅极电极17、一用以集束该电子束e之聚焦电极18、以及一藉由电子束e之撞击而放出X光之阳极靶材14。在阴极电极15和栅极电极17之间，受施加有一来自偏压电压产生部20之偏压电压Vb。阳极靶材14受施加一来自管电压产生部19之管电压Vt。分压部31对管电压Vt进行分压，而产生聚焦电压Vf。藉由将如此而得之聚焦电压Vf施加至聚焦电极18上，将可以抑制电压变动对于电子束之焦点形成所造成的影响。
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