超声波换能器、超声波探头以及超声波换能器的制造方法

    公开(公告)号:CN103210665B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201280003673.1

    申请日:2012-01-27

    CPC classification number: B06B1/0629 B06B1/067 B32B38/0004 Y10T156/1082

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种能够避免非导电性的声匹配层的制造工序的繁琐并且确保电导通路径的超声波换能器及超声波探头。具备二维配置的多个压电体。各个压电体设有电极。并且具备具有电极侧的第一面、与作为第一面的相反侧的第二面的非导电性声匹配层,此外,具备在非导电性声匹配层的第二面侧配置的导电性声匹配层。此外,对导电性声匹配层具备配置在与非导电性声匹配层相反一侧的基板。形成有多个槽,在非导电性声匹配层的第一面与第二面之间,贯通非导电性声匹配层,并到达第一面侧的压电体的中途或该第二面侧的导电性声匹配层的中途。此外,电极与基板经由槽而电导通。

    超声波探头及超声波探头的制造方法

    公开(公告)号:CN103300883A

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201310079137.6

    申请日:2013-03-13

    CPC classification number: H01L41/0825 B06B1/0622 H01L41/25 Y10T29/42

    Abstract: 本实施方式的超声波探头具备压电振子、背面部件和柔性基板。压电振子在超声波放射方向侧的前面及其相反侧的背面分别具有电极。背面部件具有与压电振子的宽度大致相等的第1宽度。柔性基板设有布线图案。另外,柔性基板在背面部件的宽度方向的端部附近向与放射方向大致相反的方向折曲。另外,柔性基板的布线图案被覆盖部件覆盖。进而,相对于布线图案位于前面侧的层的前面,具有与所述第1宽度大致相等的宽度,进而该层的背面形成为具有比所述第1宽度短的第2宽度。另外,通过该层的第1宽度与第2宽度之差,在该层与背面部件之间设有间隙。另外,覆盖部件至少覆盖从柔性基板的折曲部分到间隙内的布线图案。

    超声波探头
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101011263B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200610171120.3

    申请日:2006-12-22

    CPC classification number: B06B1/0622 A61B8/4281

    Abstract: 本发明的超声波探头具备:在背面具有接地电极(13)和信号电极(12)的压电振子(10);配置在上述压电振子(10)的前面侧的声音匹配层(30);配置在上述压电振子(10)的背面侧的衬垫材料(40);可变形基板(50),隔在上述压电振子(10)和上述衬垫材料(40)之间,覆盖上述压电振子(10)的背面全体,并且具有接地布线层(512)和信号布线层(514),其中接地布线层(512)和信号布线层(514)分别从上述可变形基板(50)的与上述压电振子(10)相对的表面露出,通过上述接地布线层(512)的露出面(512a)和信号布线层(514)的露出面(514a)与上述接地电极(13)和信号电极(12)电连接。

    超声波探头及超声波探头的制造方法

    公开(公告)号:CN103300883B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201310079137.6

    申请日:2013-03-13

    CPC classification number: H01L41/0825 B06B1/0622 H01L41/25 Y10T29/42

    Abstract: 本实施方式的超声波探头具备压电振子、背面部件和柔性基板。压电振子在超声波放射方向侧的前面及其相反侧的背面分别具有电极。背面部件具有与压电振子的宽度大致相等的第1宽度。柔性基板设有布线图案。另外,柔性基板在背面部件的宽度方向的端部附近向与放射方向大致相反的方向折曲。另外,柔性基板的布线图案被覆盖部件覆盖。进而,相对于布线图案位于前面侧的层的前面,具有与所述第1宽度大致相等的宽度,进而该层的背面形成为具有比所述第1宽度短的第2宽度。另外,通过该层的第1宽度与第2宽度之差,在该层与背面部件之间设有间隙。另外,覆盖部件至少覆盖从柔性基板的折曲部分到间隙内的布线图案。

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