公开(公告)号：CN109635423A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201811502748.6

申请日：2018-12-10

Applicant: 东南大学

Inventor： 韩磊 ,  于洋 ,  吴虹剑 ,  田蕾 ,  吝晓楠

IPC: G06F17/50

CPC classification number: G06F17/5009

Abstract: 本发明公开了一种柔性MEMS器件力学动态模型分析方法，建立柔性MEMS器件的梁结构与柔性基板之间的双变形耦合模型；建立柔性MEMS器件梁结构的驱动参数与驱动信号之间的关系；检测柔性基板发生形变时梁结构的形变参数值；根据S03中检测到的梁结构的形变参数值和S01中的双变形耦合模型，得到梁结构的驱动参数修正值；使用梁结构的驱动参数修正值修正梁结构的驱动参数，得到梁结构的驱动参数精确值；根据S02中建立的关系，得到驱动信号的精确值。根据S07中梁结构不考虑阻尼作用的动态方程，得到梁结构的开关时间，分析弯曲变形对梁结构力学动态模型的影响。本专利提供了一种基于复杂环境空间，包含梁结构与柔性基板双变形模型的MEMS器件力学动态模型分析方法。