基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪

    公开(公告)号:CN104089612A

    公开(公告)日:2014-10-08

    申请号:CN201410362573.9

    申请日:2014-07-28

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C19/5621

    Abstract: 本发明公开一种基于双音叉效应的对称全解耦双质量块硅微陀螺仪。该陀螺仪包括垂直两层,上层为硅微陀螺仪的机械模块,下层为敷有信号引线的玻璃衬底,陀螺仪的机械模块由两个完全相同的子模块构成,且水平对称放置,两个敏感质量块之间分别通过驱动耦合折叠梁和横梁在驱动方向和敏感方向连接,使得两个敏感质量块在驱动模态和检测模态都相互关联。每个子模块包括敏感质量块、驱动模块、驱动反馈模块、检测模块、驱动支承梁、驱动反馈支承梁、检测支承梁、驱动解耦梁、检测解耦梁、检测耦合支承梁、以及固定锚点。本发明中的两个子模块采用同频反相驱动模式,检测模块实现差分检测,能有效抑制外界冲击、温度以及加工缺陷的影响,抗共模误差能力强。

    三轴硅谐振式加速度计闭环驱动控制与频率检测电路

    公开(公告)号:CN103901226A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410164579.5

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路,其特征在于,包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路,其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第二接口放大电路、第一幅度控制电路、第二幅度控制电路、第一相位控制电路、第二相位控制电路、第一调制控制电路、第二调制控制电路、信号频率检测电路。本发明与现有技术相比,该三轴硅微谐振式加速度计的闭环驱动控制与频率检测方法具有精度高、体积小、功耗低、易于集成、使用方便等优点。

    硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪

    公开(公告)号:CN103900548B

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:CN201410164249.6

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置,第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接,所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构,所述的角速度测量子结构包括质量块、固定在基座上的第一固定基座、固定在基座上的第二固定基座、固定在基座上的第三固定基座、固定在基座上的第四固定基座、第一驱动机构、第二驱动机构、第一检测机构、第二检测机构、第一驱动平行梁、第二驱动平行梁、第一检测平行梁、第二检测平行梁和若干U型折叠梁。

    一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪

    公开(公告)号:CN104236535B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201410449942.8

    申请日:2014-09-04

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪,包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层;微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置,第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接;本发明为减小温度和应力对整个微陀螺的影响,采用了完全相同的两个子结构,两个子结构左右对称布置,运动方式为x-y平面内的线运动;采用子结构连接装置,使左右两个子结构成为一个整体,保证了左右两个子结构运动频率的一致性,且子结构连接装置的设计保证了驱动运动和检测运动的隔离,实现了结构运动的全解耦;子结构连接装置保证了陀螺仪驱动运动和检测运动时两个子结构的驱动部分和检测部分分别为相向的线运动。

    硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪

    公开(公告)号:CN103900548A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410164249.6

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C19/574

    Abstract: 本发明公开一种硅微全解耦双质量双线振动式陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置,第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接,所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构,所述的角速度测量子结构包括质量块、固定在基座上的第一固定基座、固定在基座上的第二固定基座、固定在基座上的第三固定基座、固定在基座上的第四固定基座、第一驱动机构、第二驱动机构、第一检测机构、第二检测机构、第一驱动平行梁、第二驱动平行梁、第一检测平行梁、第二检测平行梁和若干U型折叠梁。

    三轴硅谐振式加速度计闭环驱动控制与频率检测电路

    公开(公告)号:CN103901226B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201410164579.5

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路,其特征在于,包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路,其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第二接口放大电路、第一幅度控制电路、第二幅度控制电路、第一相位控制电路、第二相位控制电路、第一调制控制电路、第二调制控制电路、信号频率检测电路。本发明与现有技术相比,该三轴硅微谐振式加速度计的闭环驱动控制与频率检测方法具有精度高、体积小、功耗低、易于集成、使用方便等优点。

    用于流速及加速度矢量敏感的仿生毛发传感器及检测方法

    公开(公告)号:CN104833350A

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201510203285.3

    申请日:2015-04-24

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C19/5642

    Abstract: 本发明公开了一种用于流速及加速度矢量敏感的仿生毛发传感器及其检测方法,包括顶部聚合物毛发、中部环状硅微传感器结构、底部制作在玻璃衬底上的信号引线。本发明中顶部毛发在外部加速度或流体作用时带动环状硅微传感器结构中的圆形质量块和环形质量块摆动;利用静电力的负刚度效应原理,通过环状硅微传感器结构中圆形质量块和环形质量块的摆动,引起布置在圆形质量块和环形质量块周围的谐振器谐振频率的变化,实现对流速及加速度大小的检测;通过采用质量块与环形质量块的耦合结构,对顶部毛发的摆动方向进行矢量分解,实现对加速度或流体速度的矢量方向检测。

    一种基于FPGA的硅微陀螺仪温控温补电路装置

    公开(公告)号:CN103776469A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410065841.0

    申请日:2014-02-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 一种基于FPGA的硅微陀螺仪温控温补电路装置,包括集成了微型加热器和温度传感器的微陀螺、接口电路和FPGA处理电路,通过相互连接形成温控回路、驱动控制回路和检测控制回路,利用了微陀螺内部集成的温度传感器和微型加热器实现硅微陀螺仪芯片级温控温补,具有灵敏度高、重复性好、惯性小、温度信息可信度高、功耗小、控制精度高等优点;基于FPGA的数字温控温补平台,减少了模拟电路本身温度漂移的影响,同时数字化平台参数调整灵活,功能强大,可以灵活实现各种复杂的温控温补算法,有利于系统性能优化。

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