公开(公告)号：CN118533077A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410643873.8

申请日：2024-05-23

Applicant: 东南大学

Inventor： 崔乾楠 ,  李智轩 ,  徐春祥

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明公开了一种基于显微吸收光谱的二维半导体厚度测量系统及方法，系统包括：光学显微吸收光谱测量装置，用于测量若干标准二维半导体样品的光学显微吸收光谱，以及待测二维半导体样品的光学显微吸收光谱；曲线拟合模块，用于提取出每个标准二维半导体样品的光学显微吸收光谱激子共振峰的峰值强度，并将所述峰值强度作为因变量，对应标准二维半导体样品的厚度作为自变量，拟合得到厚度‑峰值强度关系曲线；厚度计算模块，用于提取待测二维半导体样品的光学显微吸收光谱相应激子共振峰的峰值强度，代入所述厚度‑峰值强度关系曲线，计算得到待测二维半导体厚度。本发明操作简单、速度快。

公开(公告)号：CN112485223B

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202011292105.0

申请日：2020-11-18

Applicant: 东南大学

Inventor： 崔乾楠 ,  徐春祥

IPC: G01N21/39

Abstract: 本发明公开了一种时空分辨瞬态吸收显微光谱测量装置，飞秒激光器输出的飞秒激光经分光片分光后，分别进入泵浦光路与探测光路；泵浦激光和探测激光分别经激光性能调节模块调制后，进入显微光谱采集模块；探测激光经空间扫描模块的调节，在显微物镜上自左至右逐点扫过泵浦激光；在探测激光空间扫描的每一个空间位点，通过时间扫描模块调节探测激光与泵浦激光的时间延迟；信号探测模块记录探测激光的微分反射信号，生成时空分辨的瞬态吸收显微光谱。本发明定量控制泵浦和探测激光脉冲聚焦在样品上的时空相对位置，实现光生载流子浓度扩散输运过程的直接观测。