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公开(公告)号:CN118386136A
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202410663104.4
申请日:2024-05-27
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及半导体设备精密加工技术领域,一种阀块流道内孔表面精整装置,包括刀体,其主体至第一端之间为管状结构且内部形成孔道,且刀体的第一端面开设有若干个贯穿刀体管壁且沿刀体轴向延伸的条形槽:刀头,刀体的外环面由第一端至临近第一端处向外延伸形成刀头,刀头的外环面的回转中心与刀体的轴心重合;当驱动刀体沿刀体的轴心旋转时,刀头由离心力驱动略微外扩。该装置制备简单,磨削力小,散热好,刀具磨损缓慢寿命长等优势,该刀具应用于阀块流道交叉区域进行去毛刺加工能够有效保护已加工表面质量不受二次加工影响。本发明同时还提出了一种阀块流道内孔表面精整方法,使用了上述的阀块流道内孔表面精整装置。
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公开(公告)号:CN107761151B
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201710940762.3
申请日:2017-10-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种超微细尺度金刚石磨具制造方法,步骤为:准备一根标准直径钨钢棒,将其切断至规定长度并作为磨具基体;先将磨具基体的直径磨削至0.5mm,再对磨具基体进行精磨削,保证精磨砂轮与磨具基体的轴向中心线呈89°的夹角,直到磨具基体在有效长度范围内的直径小于50μm,同时精确控制磨具尖端的形状;对精磨削后的磨具基体进行电镀,电镀过程中,磨具基体需要进行自转,且自转的同时还要连续移动,通过磨具基体的自转和连续移动,降低电镀过程中的尖端放电效应,直到超微细尺度金刚石磨具制造完成。本发明首次采用了带磨削倾角的侧面磨削工艺,磨削耗时更短;采用全新的电镀工艺参数,保证了磨具成品率和成品质量,首次将单只磨具的制造时间缩短到5分钟。
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公开(公告)号:CN106238842B
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201610851598.4
申请日:2016-09-27
Applicant: 东北大学
Abstract: 用于低速走丝线切割加工微细工具电极的旋转机构及机台,所述旋转机构包括:焊接支架、电机、电机连接板、第一齿轮、第二齿轮、齿形带、主轴室、主轴、精密轴承、精密钻夹头、轴承端盖、密封圈和密封垫片;电机连接板安装在焊接支架的焊接门板上,电机安装在电机连接板上且与第一齿轮连接;齿形带与第一齿轮和第二齿轮啮合;主轴室安装在焊接支架的焊接底板上,主轴支撑在主轴室内,主轴室的两端安装轴承端盖,轴承端盖与主轴室之间设有密封垫片,轴承端盖的轴孔内设有密封槽,密封槽内安装密封圈,主轴的一端与第二齿轮连接,另一端与精密钻夹头连接。本发明使得安装了旋转机构的低速走丝线切割机台能够加工出具有回转体结构的微细工具。
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公开(公告)号:CN107761151A
公开(公告)日:2018-03-06
申请号:CN201710940762.3
申请日:2017-10-11
Applicant: 东北大学
CPC classification number: C25D15/00 , B24D18/0054 , C25D3/56 , C25D7/00
Abstract: 一种超微细尺度金刚石磨具制造方法,步骤为:准备一根标准直径钨钢棒,将其切断至规定长度并作为磨具基体;先将磨具基体的直径磨削至0.5mm,再对磨具基体进行精磨削,保证精磨砂轮与磨具基体的轴向中心线呈89°的夹角,直到磨具基体在有效长度范围内的直径小于50μm,同时精确控制磨具尖端的形状;对精磨削后的磨具基体进行电镀,电镀过程中,磨具基体需要进行自转,且自转的同时还要连续移动,通过磨具基体的自转和连续移动,降低电镀过程中的尖端放电效应,直到超微细尺度金刚石磨具制造完成。本发明首次采用了带磨削倾角的侧面磨削工艺,磨削耗时更短;采用全新的电镀工艺参数,保证了磨具成品率和成品质量,首次将单只磨具的制造时间缩短到5分钟。
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公开(公告)号:CN206065593U
公开(公告)日:2017-04-05
申请号:CN201621081591.0
申请日:2016-09-27
Applicant: 东北大学
Abstract: 用于低速走丝线切割加工微细工具电极的旋转机构及机台,所述旋转机构包括:焊接支架、电机、电机连接板、第一齿轮、第二齿轮、齿形带、主轴室、主轴、精密轴承、精密钻夹头、轴承端盖、密封圈和密封垫片;电机连接板安装在焊接支架的焊接门板上,电机安装在电机连接板上且与第一齿轮连接;齿形带与第一齿轮和第二齿轮啮合;主轴室安装在焊接支架的焊接底板上,主轴支撑在主轴室内,主轴室的两端安装轴承端盖,轴承端盖与主轴室之间设有密封垫片,轴承端盖的轴孔内设有密封槽,密封槽内安装密封圈,主轴的一端与第二齿轮连接,另一端与精密钻夹头连接。本实用新型使得安装了旋转机构的低速走丝线切割机台能够加工出具有回转体结构的微细工具。
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公开(公告)号:CN2287206Y
公开(公告)日:1998-08-05
申请号:CN97212076.9
申请日:1997-03-08
Applicant: 辽河油田勘探局钻采工艺研究院 , 东北大学 , 沈阳吴灵达新技术研究所
IPC: E21B33/12
Abstract: 本实用新型热采封隔器属于石油机械领域中的一种稠油热采配套工具。针对稠油开采所需的封隔器,存在着密封性差、难解封等问题,设计了一种新型装置,它是由中心管、前端压帽和后端压帽,以及密封套等部分构成,其特征是记忆合金筒呈波纹状,前、后两端均有固紧管固定。在石油开采工业中,应用于稠油热采前景广阔。
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公开(公告)号:CN2287205Y
公开(公告)日:1998-08-05
申请号:CN97212077.7
申请日:1997-03-08
Applicant: 辽河油田勘探局钻采工艺研究院 , 东北大学 , 沈阳吴灵达新技术研究所
IPC: E21B33/10
Abstract: 本实用新型热采密封装置属于石油开采机械的一种配套产品。针对稠油开采所需的密封装置,存在着密封性差、难解封、易卡井等事故,设计了一种新型装置,它是由中心管体、上、下端盖、密封套和记忆合金片等构成,其特征是记忆合金片呈条形片状,上端由固紧套紧固定,下端呈自由状态。在稠油开采作业中可广泛应用。
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