一种阀块流道内孔表面精整装置及方法

    公开(公告)号:CN118386136A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410663104.4

    申请日:2024-05-27

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明涉及半导体设备精密加工技术领域,一种阀块流道内孔表面精整装置,包括刀体,其主体至第一端之间为管状结构且内部形成孔道,且刀体的第一端面开设有若干个贯穿刀体管壁且沿刀体轴向延伸的条形槽:刀头,刀体的外环面由第一端至临近第一端处向外延伸形成刀头,刀头的外环面的回转中心与刀体的轴心重合;当驱动刀体沿刀体的轴心旋转时,刀头由离心力驱动略微外扩。该装置制备简单,磨削力小,散热好,刀具磨损缓慢寿命长等优势,该刀具应用于阀块流道交叉区域进行去毛刺加工能够有效保护已加工表面质量不受二次加工影响。本发明同时还提出了一种阀块流道内孔表面精整方法,使用了上述的阀块流道内孔表面精整装置。

    一种超微细尺度金刚石磨具制造方法

    公开(公告)号:CN107761151B

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201710940762.3

    申请日:2017-10-11

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 一种超微细尺度金刚石磨具制造方法,步骤为:准备一根标准直径钨钢棒,将其切断至规定长度并作为磨具基体;先将磨具基体的直径磨削至0.5mm,再对磨具基体进行精磨削,保证精磨砂轮与磨具基体的轴向中心线呈89°的夹角,直到磨具基体在有效长度范围内的直径小于50μm,同时精确控制磨具尖端的形状;对精磨削后的磨具基体进行电镀,电镀过程中,磨具基体需要进行自转,且自转的同时还要连续移动,通过磨具基体的自转和连续移动,降低电镀过程中的尖端放电效应,直到超微细尺度金刚石磨具制造完成。本发明首次采用了带磨削倾角的侧面磨削工艺,磨削耗时更短;采用全新的电镀工艺参数,保证了磨具成品率和成品质量,首次将单只磨具的制造时间缩短到5分钟。

    用于低速走丝线切割加工微细工具电极的旋转机构及机台

    公开(公告)号:CN106238842B

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201610851598.4

    申请日:2016-09-27

    Applicant: 东北大学

    Inventor: 巩亚东 孙瑶 程军

    Abstract: 用于低速走丝线切割加工微细工具电极的旋转机构及机台,所述旋转机构包括:焊接支架、电机、电机连接板、第一齿轮、第二齿轮、齿形带、主轴室、主轴、精密轴承、精密钻夹头、轴承端盖、密封圈和密封垫片;电机连接板安装在焊接支架的焊接门板上,电机安装在电机连接板上且与第一齿轮连接;齿形带与第一齿轮和第二齿轮啮合;主轴室安装在焊接支架的焊接底板上,主轴支撑在主轴室内,主轴室的两端安装轴承端盖,轴承端盖与主轴室之间设有密封垫片,轴承端盖的轴孔内设有密封槽,密封槽内安装密封圈,主轴的一端与第二齿轮连接,另一端与精密钻夹头连接。本发明使得安装了旋转机构的低速走丝线切割机台能够加工出具有回转体结构的微细工具。

    一种超微细尺度金刚石磨具制造方法

    公开(公告)号:CN107761151A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201710940762.3

    申请日:2017-10-11

    Applicant: 东北大学

    CPC classification number: C25D15/00 B24D18/0054 C25D3/56 C25D7/00

    Abstract: 一种超微细尺度金刚石磨具制造方法,步骤为:准备一根标准直径钨钢棒,将其切断至规定长度并作为磨具基体;先将磨具基体的直径磨削至0.5mm,再对磨具基体进行精磨削,保证精磨砂轮与磨具基体的轴向中心线呈89°的夹角,直到磨具基体在有效长度范围内的直径小于50μm,同时精确控制磨具尖端的形状;对精磨削后的磨具基体进行电镀,电镀过程中,磨具基体需要进行自转,且自转的同时还要连续移动,通过磨具基体的自转和连续移动,降低电镀过程中的尖端放电效应,直到超微细尺度金刚石磨具制造完成。本发明首次采用了带磨削倾角的侧面磨削工艺,磨削耗时更短;采用全新的电镀工艺参数,保证了磨具成品率和成品质量,首次将单只磨具的制造时间缩短到5分钟。

    用于低速走丝线切割加工微细工具电极的旋转机构及机台

    公开(公告)号:CN206065593U

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201621081591.0

    申请日:2016-09-27

    Applicant: 东北大学

    Inventor: 巩亚东 孙瑶 程军

    Abstract: 用于低速走丝线切割加工微细工具电极的旋转机构及机台,所述旋转机构包括:焊接支架、电机、电机连接板、第一齿轮、第二齿轮、齿形带、主轴室、主轴、精密轴承、精密钻夹头、轴承端盖、密封圈和密封垫片;电机连接板安装在焊接支架的焊接门板上,电机安装在电机连接板上且与第一齿轮连接;齿形带与第一齿轮和第二齿轮啮合;主轴室安装在焊接支架的焊接底板上,主轴支撑在主轴室内,主轴室的两端安装轴承端盖,轴承端盖与主轴室之间设有密封垫片,轴承端盖的轴孔内设有密封槽,密封槽内安装密封圈,主轴的一端与第二齿轮连接,另一端与精密钻夹头连接。本实用新型使得安装了旋转机构的低速走丝线切割机台能够加工出具有回转体结构的微细工具。

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