-
公开(公告)号：CN201417757Y
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200820179387.1
申请日：2008-12-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L21/67057
Abstract: 本实用新型涉及基板处理装置，其将基板浸入贮存的处理液中，进行基板处理。该基板处理装置设有具有相向配置的一对侧壁的处理槽和分别对应于上述一对侧壁而设置的一对处理液供给机构。上述一对处理液供给机构向连接上述一对侧壁的宽度方向上的上述处理槽内的中央侧供给处理液，从而在上述处理槽内的上述宽度方向上的中央区域形成上升流。上述一对侧壁的各自内壁面包括本体部、位于上述本体部上方的突出部以及位于最上方、形成上述处理液溢出的排出口的排出导向部。上述排出导向部向上且朝上述宽度方向的中央侧的对侧倾斜。上述突出部包括在上述宽度方向上比上述本体部及上述排出导向部更位于中央侧的内端部。
Search Results
11
records
(took 0.018 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
