公开(公告)号：CN100587113C

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200480021740.8

申请日：2004-02-09

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 后藤昭弘 ,  秋吉雅夫 ,  松尾胜弘 ,  落合宏行 ,  渡边光敏 ,  古川崇

IPC: C23C26/00

CPC classification number: C23C26/00

Abstract: 为了利用放电表面处理进行厚膜的形成，检测放电中电极与工件之间的电压，在检测出该电压下降的情况下，判断为放电表面处理状态异常，由此，准确地检测放电表面处理的不稳定现象，可以在由该不稳定现象引起覆盖膜状态及电极状态恶化之前，实施适当的应对处理。也就是说，通过判定放电表面处理的稳定性，防止覆盖膜及电极的损伤。

公开(公告)号：CN1829822A

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：CN200480021740.8

申请日：2004-02-09

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 后藤昭弘 ,  秋吉雅夫 ,  松尾胜弘 ,  落合宏行 ,  渡边光敏 ,  古川崇

IPC: C23C26/00

CPC classification number: C23C26/00

Abstract: 为了利用放电表面处理进行厚膜的形成，检测放电中电极与工件之间的电压，在检测出该电压下降的情况下，判断为放电表面处理状态异常，由此，准确地检测放电表面处理的不稳定现象，可以在由该不稳定现象引起覆盖膜状态及电极状态恶化之前，实施适当的应对处理。也就是说，通过判定放电表面处理的稳定性，防止覆盖膜及电极的损伤。