公开(公告)号：CN1578568A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410054950.9

申请日：2004-07-26

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 柳承润 ,  宋承龙

IPC: H05B33/26 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/5203 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/5221

Abstract: 公开一种有机发光装置及其制造方法。在一个实施例中，所述有机发光装置包括形成在衬底上的红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)下电极。R、G和B有机薄膜层分别形成在R、G和B下电极上。另外，上层单一或多层电极形成在所述衬底上面。分别对应R、G和B有机薄膜层的上电极部分被形成为各自具有不同的厚度。同样公开了使用纯金属掩模、半色调掩模和单一以及多级光刻法工艺形成所述上电极的各种方法。

公开(公告)号：CN1769513A

公开(公告)日：2006-05-10

申请号：CN200510117363.4

申请日：2005-11-03

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 柳承润

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/24

Abstract: 本发明公开了一种沉积方法及设备，该沉积方法及设备在用于将材料沉积到基板上的过程中提供了均匀的沉积速率和优良的再现性。该沉积方法包括：准备基板，薄膜被沉积在该基板上；准备直线源，该直线源包括多个排成直线的加热熔罐；和使直线源旋转，同时将沉积材料沉积在基板上。