橡胶组合物、等离子体处理装置用密封材料

    公开(公告)号:CN101080463B

    公开(公告)日:2010-06-23

    申请号:CN200580043521.4

    申请日:2005-12-19

    Abstract: 提供一种橡胶组合物,其中含有(a)交联性含氟橡胶;以及,相对于所述交联性含氟橡胶100重量份,合计量为1~10重量份的(b)反应性含氟化合物(除交联性含氟橡胶(a)之外),它具有2价全氟聚醚结构或2价全氟亚烷基结构,在末端或侧链具有2个以上至少可与有机硅化合物(c)中的硅氢基发生加成反应的链烯基,和,(c)反应性有机硅化合物,它在分子中具有2个以上的硅氢基,至少可与所述反应性含氟化合物(b)中的链烯基发生加成反应;还含有(d)硫化剂(d-1)和根据需要的共交联剂(d-2)。还提供了通过将该组合物一次硫化之后,再将成形体中的未反应成分在真空炉中二次硫化,从而形成的作为未反应成分的释放气体量减少的等离子体处理装置用密封材料。所述等离子体处理装置用密封材料特别在半导体制造工序中即使高温下长时间使用也不易与配合部件粘着·固接、没有产生碎粒的问题、没有释放气体引起的污染,并可以低成本制得。

    复合密封材料
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101384842A

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200780005242.8

    申请日:2007-02-08

    Inventor: 村松晃

    CPC classification number: F16J15/104 F16J15/062 F16J15/166 F16J15/3284

    Abstract: 本发明提供复合密封材料,该密封材料的特征在于,具备配置于密封槽2外周侧的、由弹性部件构成的第1密封部件6,和配置于密封槽2内周侧的、由较第1密封部件6更硬质的材料构成的第2密封部件8;第1密封部件6由其厚度方向近中部的径向内侧朝径向内部突出而形成横向凸部12的同时,第2密封部件8由两端部的法兰部14、16和连接该法兰部14、16的近似直线状的内壁部分18形成截面呈近似コ字状的形状;在第1密封部件6和第2密封部件8组装为一体的状态下,在横向凸部12和第2密封部件8的近似直线状的内壁部分18之间,确保有空腔20。

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