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公开(公告)号:CN2397483Y
公开(公告)日:2000-09-20
申请号:CN99251921.7
申请日:1999-12-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 一种激光激振测振仪,包括产生调制激振光束的激振光源和产生光强恒定测振光束的测振光源,光纤合波器,合束光纤,光电探测器,光纤复用器和端面对准被测样品并具有正弦相位调制的光纤探头。激振光束使被测样品产生振动,测振光束射到被测样品表面反射返回的光束和光纤探头端面反射返回的光束产生干涉,由此可同时测得振动频率和振动幅度。本实用新型具有多功能,非接触式,小型化,一体化,稳定性好,测量精度高的特点。