公开(公告)号：CN204155032U

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201420660874.5

申请日：2014-11-06

Applicant: 江苏尚飞光电科技有限公司 ,  中科院南通光电工程中心 ,  中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 甘甫烷 ,  汪敬 ,  盛振 ,  武爱民 ,  仇超 ,  王曦 ,  邹世昌

IPC: G02F1/01 ,  G02B6/122

Abstract: 本实用新型提供一种硅基光调制器，至少包括：脊型波导，所述脊型波导包括平板部和位于所述平板部中间的凸条，所述凸条高于所述平板部；所述脊型波导中形成有第一轻掺杂区和第二轻掺杂区，所述第一轻掺杂区形成于所述凸条中间，且沿所述凸条的延伸方向延伸；所述第二轻掺杂区形成于所述第一轻掺杂区两侧的凸条中和与所述凸条两侧相连的平板部中；所述第一轻掺杂区和所述第二轻掺杂区的掺杂类型相反。在本实用新型的技术方案中，在脊型波导的凸条内由第一轻掺杂区和第二轻掺杂区形成两个背对背的PN结，在硅基光调制器工作时可以形成两个耗尽区，弥补解决离子注入对准误差的问题，并且提高了硅基光调制器的调制效率。