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公开(公告)号：CN1474202A
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：CN03142107.5
申请日：2003-08-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种飞秒激光单脉冲形成二维纳米尺度周期结构的工作装置，其特征在于它包括飞秒激光器，沿飞秒激光器光束前进的方向依次是扩束望远镜、30％反射镜，该30％反射镜的反射光束依次经第三全反射镜、第一透镜、第四全反射镜形成第一参考光束到达样品，该30％反射镜的透射光束依次经第一全反射镜、50％反射镜、第二全反射镜、第二透镜形成物光束照射样品，该50％反射镜的反射光束经第三透镜和第五全反射镜形成第二参考光束到达样品。利用本发明可同时形成多个二维周期微结构。
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公开(公告)号：CN1438552A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03115590.1
申请日：2003-02-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03H1/04
Abstract: 一种微秒可调高速机械快门，其特点在于其构成包括：在一轮座上水平地安装由两个马达分别驱动的两个轮轴，两轮轴分别设有前后错位排列的两飞轮，两飞轮的旋转方向相同；该两飞轮的边缘部分各开有一通光窗口，其后的光路上还置有一挡光屏和一个普通机械快门。本发明具有结构简单、成本低和适应性强的特点。
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公开(公告)号：CN1358987A
公开(公告)日：2002-07-17
申请号：CN01132361.2
申请日：2001-11-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 一种单次定标二阶单发自相关测量仪,包括被测激光脉冲经过分束镜分成两束,一束经过第一全反射镜和第二全反射镜射入倍频晶体,另一束经过一面内角反射面为有一个台阶的阶梯反射面的阶梯反射面角反射镜和第三全反射镜后射进倍频晶体。由倍频晶体输出的激光脉冲经过柱透镜后射到连接到计算机上的探测元件上。上述的一束激光脉冲经过阶梯反射面角反射镜后引入一个光程差,可以单次定标和测得对应的二阶自相关函数的时间宽度,实现了一维空间分辨的单次二阶相关测量。一个脉冲信号一次测量就可以同时定标和采集到二维的平面信息,比在先技术中定标简单容易,更为准确可靠。
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公开(公告)号：CN1297268A
公开(公告)日：2001-05-30
申请号：CN00127833.9
申请日：2000-12-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种同步输出十太瓦级不同脉宽的双脉冲激光装置,包括由飞秒锁模激光器发射的激光束经脉冲宽度展宽器和分束器,分出两束能量相等,脉宽不等的光束,一束经时间延时调节器,光学参量啁啾脉冲放大器和脉宽压缩器进入光束组合导引器。另一束经泵浦激光脉冲放大链进入倍频器。倍频光束泵浦光学参量啁啾脉冲放大器,余下的基频光经脉宽压缩器和时间延时调节器进入光束组合导引器。由光束组合导引器输出十太瓦级不同脉宽的两个光脉冲。
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公开(公告)号：CN1166595A
公开(公告)日：1997-12-03
申请号：CN96116636.3
申请日：1996-12-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J3/18
Abstract: 本发明是一种高效高分辨软X射线透射光栅谱仪。含有在真空室内光具座上沿着光路前进的方向，由真空室的前法兰至后法兰依次置放前置反射镜组件，狭缝组件，光阑组件，聚焦反射镜组件，透射光栅组件和暗盒组件。谱仪具有高集光效率即其接收角比已有技术提高了几十倍，高光谱分辨即光谱分辨Δλ＜1，还具有平直的光谱焦面，而且由于结构合理，对光栅元件要求不苛刻，因此造价低，用途广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112968343B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202110141232.9
申请日：2021-02-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于再生放大器的高效腔内激光谐波转换装置，是将高能量低重复频率的激光脉冲从偏振分光棱镜上变为S偏振光入射，通过被施加1/2波电压的普克尔盒(随后撤掉电压)变为P偏振光。通过高反镜反射后进入充气空芯光纤，相互作用产生高次谐波，随后在偏振片上透射输出产生的高次谐波，其余未转换为高次谐波的入射光被反射后通过泵浦源补充损失能量、高反镜反射后开始下一次循环输出。本发明装置通过适当设计各个光学器件间的距离，可以缩短腔长，可以减少激光在其中循环输出的时间，有效解决常规方法产生的高次谐波重复频率低的问题，实现高效高重复频率的可控谐波输出。
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公开(公告)号：CN112600057B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202011388156.3
申请日：2020-12-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种消除相干合束中束间空间抖动及优化光束质量的方法，步骤包括：①利用聚焦透镜将合束激光会聚，并确定焦点位置；②将调整架与毛细管连接，并将入射端置于聚焦透镜焦点位置；③精确调节毛细管入射端面位置和角度；④精确调节毛细管出射端面的位置与角度。本发明应用于激光相干合束，能够有效地消除相干合束中束间空间抖动和光束干涉，从而提高合束激光输出指向稳定性，优化光束质量，其承受能量高，覆盖波长范围广，具有原理清晰、结构简单、操作便捷、效率高的特点。
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公开(公告)号：CN110695536B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201910892024.5
申请日：2019-09-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光加工方法，该方法的核心是采用制冷装置使蒸气在被加工物表面冷凝形成冰霜层，激光烧蚀产生的碎屑溅落在冰霜层上，冰霜层融化或脱落时可以方便地将碎屑清除，降低了烧蚀碎屑附着于被加工物的风险；同时，在激光辐照区域的冰霜层被激光加热后融化，在激光刻槽区域形成液层，可以有效减轻碎屑在刻槽内壁的沉积。
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公开(公告)号：CN112600057A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011388156.3
申请日：2020-12-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种消除相干合束中束间空间抖动及优化光束质量的方法，步骤包括：①利用聚焦透镜将合束激光会聚，并确定焦点位置；②将调整架与毛细管连接，并将入射端置于聚焦透镜焦点位置；③精确调节毛细管入射端面位置和角度；④精确调节毛细管出射端面的位置与角度。本发明应用于激光相干合束，能够有效地消除相干合束中束间空间抖动和光束干涉，从而提高合束激光输出指向稳定性，优化光束质量，其承受能量高，覆盖波长范围广，具有原理清晰、结构简单、操作便捷、效率高的特点。
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