公开(公告)号：CN209485273U

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201821334574.2

申请日：2018-08-17

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  朱保华 ,  张玉婷 ,  徐韶华

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型提供一种空间光路的光栅尺标定装置，包括运动台和测量装置，所述测量装置设置于运动台上；测量装置包括一具有凹槽结构的承载台承载台，凹槽结构的底面上设置有4个平面光栅，在每个平面光栅的上方设置有一读头；承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜，由上区域边沿向所述第二平面延伸形成第四反射镜，承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜；测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209485272U

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201821328982.7

申请日：2018-08-17

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  朱保华 ,  张玉婷 ,  徐韶华

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型提供一种光栅尺标定装置，包括运动台和测量装置，运动台处于封闭的微环境区域内，测量装置设置于运动台上；测量装置包括承载台；承载台上设置有4个读头，每个读头分别处于一四边形的顶点处；在每个读头的上方设置有一平面光栅；承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜，由第二平面延伸形成第四反射镜，承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜；测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利