单晶金刚石及其制造方法
    111.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103764882A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201280042553.2

    申请日:2012-08-30

    Abstract: 本发明提供一种单晶金刚石,其由碳同位素12C的浓度为99.9质量%以上的碳以及除了碳以外的多种不可避免的杂质构成。该不可避免的杂质包括氮、硼、氢和镍;并且所述多种不可避免的杂质中的氮、硼和氢的总含量设定为0.01质量%以下。为了制得这种单晶金刚石,首先对碳同位素12C的浓度为99.9质量%以上的烃类气体进行脱氮处理(S1)。在真空室中,经过脱氮处理的烃类气体(例如)在1200℃至2300℃(包括端值)的温度下在基底上热分解,从而制得碳原料(S2)。用这种碳原料合成金刚石,并且从该金刚石上切割出籽晶(S3)。将所述籽晶与溶剂和碳原料一同容纳在腔体中,通过高温高压合成方法由所述籽晶生长出单晶金刚石(S4)。

    制备n-型半导体金刚石的方法及n-型半导体金刚石

    公开(公告)号:CN100409408C

    公开(公告)日:2008-08-06

    申请号:CN200380100646.7

    申请日:2003-12-22

    Abstract: 本发明制备n-型半导体金刚石的方法的特征在于,通过向结合有10ppm或以上N的单晶金刚石中注入Li离子,使得其中含有10ppm的Li离子,来制备结合有Li和N的金刚石,或者,在用LI和N离子掺杂单晶金刚石的过程中,注入离子,使得在后注入Li和N浓度各为10ppm或以上处的离子注入深度将会重叠,来制备结合有Li和N的金刚石,然后在800℃或以上至低于1800℃的温度退火金刚石,以电激活Li和N且恢复金刚石的晶体结构。在本发明中,n-型半导体金刚石在从晶体面至相同的深度结合了各为10ppm或以上的Li和N,其中其薄层电阻为107Ω/□或更低。

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