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公开(公告)号：CN103472259B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310429703.1
申请日：2013-09-18
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计温度补偿方法，首先在无加速度情况下标定出谐振梁维持谐振振幅恒定的直流驱动电压与其谐振频率的单调变化关系曲线，然后在有加速度情况下对直流驱动电压和谐振频率进行测量，结合先前获得的关系曲线将温度引起的谐振频率从测量得到的谐振频率中减去，完成温度补偿工作。本发明提供的硅微谐振式加速度计温度补偿方法，克服了传统直接温度补偿方法中温度场分布的不确定性和热传导延迟给补偿结果带来较大偏差的缺陷，能够实现实时的、高精度的温度补偿；本发明方法的温度补偿成本低，不需要额外增加传感器，仅利用已有电路器件即可实现。
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公开(公告)号：CN102353366A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110178294.3
申请日：2011-06-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/04
Abstract: 本发明公开一种硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置，其包括信号器、力矩器和信号处理模块；信号器包括2对信号检测电极；力矩器包括2对力矩反馈电极；分别用于敏感陀螺仪上2个轴的输入角速度和平衡输入力矩。信号处理模块包括调制载波信号、预载高压、前置放大电路、信号解调电路、差分放大电路和交直流叠加电路。信号检测电极检测到的两轴信号通过前置放大电路放大后进行信号解调；每个解调后检测信号分别通过两个差分放大电路，与预载高压进行同相和反相运算后放大输出，输出的反馈电压信号通过交直流叠加电路与一对反相调制载波信号叠加，然后输出至力矩反馈电极。本发明采用电容检测和静电力反馈形式解决了硅微动调混合陀螺仪的调谐难题。
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公开(公告)号：CN102243251A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110103335.2
申请日：2011-04-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种不等基频硅微谐振式加速度计，其特征在于：该加速度计包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层，最下层为玻璃基底，在玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，通过键合层把硅结构层悬置于玻璃基底之上；其中硅结构层包括上质量块（1a）、与上质量块（1a）相连的下质量块（1b）、第一折叠梁（6a）、第二折叠梁（6b），上质量块(1a)与下质量块（1b）关于硅结构层水平轴对称放置，且中通过第一折叠梁（6a）、第二折叠梁（6b）相连。本发明提供的不等基频硅微谐振式加速度计，可以在全量程范围内消除模态耦合的影响，去除测量盲区，同时释放结构加工过程中产生的残余应力和减小由于材料热膨胀产生的应力。
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公开(公告)号：CN102147423A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110045851.4
申请日：2011-02-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上；所述玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接；所述微加速度计结构由质量块和四个完全相同的谐振器子结构组成。本发明采用频率检测、两检测轴完全解耦、对称布置，结构简单、紧凑、体积小、精度高。
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公开(公告)号：CN1127685C
公开(公告)日：2003-11-12
申请号：CN01127007.1
申请日：2001-07-20
Applicant: 东南大学
Inventor： 李宏生
Abstract: 倾斜式全电子鼠标是一种全电子、全固态化的计算机用鼠标，该鼠标由倾斜角检测电路、放大电路、倾斜角→频率变换电路、倾斜方向调制电路、电平移位电路、鼠标IC电路顺序串联连接而成，鼠标IC的输出端直接与计算机相连接，鼠标键与鼠标IC电路相接。该鼠标不含有任何活动的部件和光电器件，因此不仅使用灵活，而且寿命长、无磨损，无清洁要求，使用时无需工作台，可实现键盘/鼠标一体化，也适合于便携式电脑仪器及一些特殊的野外场合使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1326130A
公开(公告)日：2001-12-12
申请号：CN01127007.1
申请日：2001-07-20
Applicant: 东南大学
Inventor： 李宏生
Abstract: 倾斜式全电子鼠标是一种全电子、全固态化的计算机用鼠标,该鼠标由倾斜角检测电路、放大电路、倾斜角→频率变换电路、倾斜方向调制电路、电平移位电路、鼠标IC电路顺序串联连接而成,鼠标IC的输出端直接与计算机相连接,鼠标键与鼠标IC电路相接。该鼠标不含有任何活动的部件和光电器件,因此不仅使用灵活,而且寿命长、无磨损,无清洁要求,使用时无需工作台,可实现键盘/鼠标一体化,也适合于便携式电脑仪器及一些特殊的野外场合使用。
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公开(公告)号：CN202119447U
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201120224033.6
申请日：2011-06-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本实用新型公开一种硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置，其包括信号器、力矩器和信号处理模块；信号器包括2对信号检测电极；力矩器包括2对力矩反馈电极；分别用于敏感陀螺仪上2个轴的输入角速度和平衡输入力矩。信号处理模块包括调制载波信号、预载高压、前置放大电路、信号解调电路、差分放大电路和交直流叠加电路。信号检测电极检测到的两轴信号通过前置放大后进行信号解调；每个解调后检测信号分别通过两个差分放大电路，与预载高压进行同相和反相运算后放大输出，输出的反馈电压信号通过交直流叠加电路与一对反相调制载波信号叠加，然后输出至力矩反馈电极。本实用新型采用电容检测和静电力反馈形式解决了硅微动调混合陀螺仪的调谐难题。
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公开(公告)号：CN204255365U
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201420807495.4
申请日：2014-12-18
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本实用新型公开了一种双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，包括上层硅微机械结构和下层玻璃基座，上层硅微机械结构键合在玻璃基座上。其中上层硅微机械结构由四部分完全相同的上层硅微机械子结构组成，其中左侧上下两部分结构形成一组差分结构，测量Y方向加速度；右侧上下两部分结构形成另一组差分结构，测量X方向加速度。本实用新型提出的双轴分体式差分硅微谐振式加速度计，不仅可以有效抑制两组构成差分结构的两个谐振器之间的共模误差，消除两个谐振器之间的耦合影响，而且可以实现X方向和Y方向之间的解耦。
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公开(公告)号：CN202013362U
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201120051348.5
申请日：2011-03-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上，玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本实用新型结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。
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公开(公告)号：CN204255978U
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201420717557.2
申请日：2014-11-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种分体式差分硅微谐振式加速度计，包括玻璃基底、引线层、键合层和硅结构层。其中硅结构层由上下完全对称的两部分结构组成，每部分结构包括质量块、谐振器、杠杆放大机构、支撑梁、锚区等部分；上下两部分结构仅在中间共用两个锚区，其余结构完全分离。每个质量块通过折叠梁与锚区相连，谐振器位于质量块的中间，杠杆放大机构中杠杆机构的输出梁和支点梁位于杠杆臂的同一侧，输入梁位于杠杆臂的另一侧，每个杠杆的输入梁与质量块相连，输出梁与谐振器相连。本实用新型提出的分体式差分硅微谐振式加速度计，不仅可以有效抑制共模误差，而且可以完全消除上下谐振器的耦合影响。
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