一种基于MEMS工艺的光纤声压传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114279551A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111562112.2

    申请日:2021-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的光纤声压传感器及其制备方法,属于光纤传感器技术领域。本发明解决了现有光纤声压传感器由于初始腔长相位差不准确,进而导致传感器解调效果不好的问题。本发明传感器包括两个光纤组件和夹层结构,夹层结构为SOI‑空气‑硅的夹层结构,具体的支撑结构层为框架结构与第二Si基层形成第一方形槽,SiO2层和第一Si层上刻蚀有方形通孔,该方形通孔与SOI衬底层构成第二方形槽,两个方形槽连通在夹层结构内形成密封腔。两个方形槽的存在使传感器具有两个长度不等的F‑P腔,继而使两路干涉信号相位差保持恒定,从而获得两路正交信号,后续结合双F‑P腔正交测量法,实现对声压信号的精准测量。

    基于自干涉共路数字全息的琼斯矩阵参量同步测量装置与方法

    公开(公告)号:CN107121197B

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201710436291.2

    申请日:2017-06-12

    Abstract: 本发明提供一种基于自干涉共路数字全息的琼斯矩阵参量同步测量装置与方法,属于偏振态参量测量领域,45°线偏振正交的两光束由第一非偏振分光棱镜汇合成一束入射光,经过测量窗口、待测物体、第二双线偏振片、第一透镜和第二非偏振分光棱镜形成两束光;一束光被平面反射镜反射;另一束光经第三非偏振分光棱镜后分成两束光,分别被第一角反射镜和第二角反射镜反射;经过反射的光束再次经过第二非偏振分光棱镜汇合成一束,经过第二透镜、光阑以及第一偏振分光棱镜后,形成两幅载频正交的全息图,经图像传感器采集到计算机并计算获得琼斯矩阵参量。在提高系统抗干扰能力同时,只需一次测量即可实现琼斯矩阵参量恢复,且无需二维光栅等特殊元件,简单易行。

    基于迈克尔逊干涉仪的微型偏轴光纤迈克尔逊非本征型加速度计

    公开(公告)号:CN109655635A

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201811017336.3

    申请日:2018-09-01

    Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域,具体涉及基于迈克尔逊干涉仪的微型偏轴光纤迈克尔逊非本征型加速度计,由加速度传感结构、第一传感器支撑结构、光纤尾纤、第一在线型法拉第旋光器、第一光纤信号臂、光耦合器、第二光纤信号臂、第二在线型法拉第旋光器、第二传感器支撑结构组成,所述加速度传感结构封装在第一传感器支撑结构和第二传感器支撑结构之间,第一光纤信号臂通过第一在线型法拉第旋光器与光纤尾纤相连接;本发明通过在信号臂中插入在线型法拉第旋光器可以消除偏振衰落的影响,从而提高测量结果的稳定性,通过采用差动结构,能有效消除探头的共模噪声,并提高传感器的测量灵敏度。

    偏振态参量的点衍射式数字全息测量装置与方法

    公开(公告)号:CN107179127B

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201710437646.X

    申请日:2017-06-12

    Abstract: 本发明提供一种偏振态参量的点衍射式数字全息测量装置与方法属于偏振态参量测量领域。线偏振入射光束被分成聚焦的参考光和物光;参考光照射在孔阵列上并被针孔A过滤后,依次经过第二透镜和偏振分光棱镜被分成偏振态正交的两束光,分别照射双平面反射镜上并被反射,再次依次经过偏振分光棱镜、第二透镜、孔阵列的两大孔B和非偏振分光棱镜照射在第四透镜上;物光经过第三透镜后照射在第三反射镜上并被反射,再依次经过第三透镜和非偏振分光棱镜照射在第四透镜上;汇合在第四透镜的参考光和物光,在图像传感器平面上产生干涉形成载频方向正交的全息图,并用图像传感器采集全息图上传到计算机中,通过计算机获得Stokes矩阵参量和Jones矩阵参量。

    一种微型同轴差动式光纤迈克尔逊非本征型加速度计

    公开(公告)号:CN109298207A

    公开(公告)日:2019-02-01

    申请号:CN201811017214.4

    申请日:2018-09-01

    Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域,具体涉及一种微型同轴差动式光纤迈克尔逊非本征型加速度计,由加速度传感结构、第一传感器支撑结构、第一在线型法拉第旋光器、第一光纤信号臂、光耦合器、第二光纤信号臂、第二在线型法拉第旋光器、第二传感器支撑结构组成,所述加速度传感结构封装在第一传感器支撑结构和第二传感器支撑结构之间,第一光纤信号臂的末端垂直插入第一传感器支撑结构中间的通孔中。本发明通过在信号臂中插入在线型法拉第旋光器可以消除偏振衰落的影响,从而提高测量结果的稳定性;可以通过改变信号臂光纤的长度差从而增加传感器的解调方案的适用范围;通过采用差动结构,能有效消除探头的共模噪声,并提高传感器的测量灵敏度。

    一种微型差动式偏轴光纤迈克尔逊非本征型加速度计

    公开(公告)号:CN108982912A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201811017225.2

    申请日:2018-09-01

    Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域,具体涉及一种微型差动式偏轴光纤迈克尔逊非本征型加速度计,由加速度传感结构、第一传感器支撑结构、第一光纤尾纤、第一增透膜、第一在线型法拉第旋光器、第一光纤信号臂、光耦合器、第二光纤信号臂、第二在线型法拉第旋光器、第二光纤尾纤、第二增透膜、第二传感器支撑结构组成,所述加速度传感结构封装在第一传感器支撑结构和第二传感器支撑结构之间,第一光纤信号臂通过第一在线型法拉第旋光器与第一光纤尾纤相连接。本发明采用微机电加工工艺实现传感器探头结构和加速度传感结构的加工。由于光纤的固定通孔、质量块运动行程限位装置等均集成在传感器支撑结构上,有效提升传感器的集成化、小型化和稳定性。

    基于偏振正交全息的琼斯矩阵参量同步测量装置与方法

    公开(公告)号:CN107290058B

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201710436272.X

    申请日:2017-06-12

    Abstract: 本发明提供了基于偏振正交全息的琼斯矩阵参量同步测量装置与方法,属于偏振态参量测量领域。偏振正交的45°线偏振光分为物光光束和参考光光束;物光光束经透镜变换后,射向第四非偏振分光棱镜;参考光束经第三非偏振分光棱镜后分成两束光,分别经过第二双线偏振片、双平面反射镜并被反射,再次汇合于第三非偏振分光棱镜的参考光束射向第四非偏振分光棱镜;汇合于第四非偏振分光棱镜的物光光束和参考光束经偏振分光棱镜偏振分光后,射向图像传感器并在图像传感器平面上产生干涉,形成两幅载频正交的全息图,经图像传感器采集到计算机并计算获得琼斯矩阵参量。本发明只需一次测量即可实现琼斯矩阵参量恢复,且无需二维光栅等特殊元件,简单易行。

    双波长透射点衍射式共路数字全息测量装置与方法

    公开(公告)号:CN108592784A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810014748.5

    申请日:2018-01-08

    Abstract: 本发明涉及一种双波长透射点衍射式共路数字全息测量装置与方法。偏振正交的双波长入射光经第一偏振分光棱镜汇合成一束光,再依次经过准直扩束系统、待测物体、第一透镜、第一非偏振分光棱镜、孔阵列、第二透镜、第二非偏振分光棱镜后形成两束光,分别照射第一平面反射镜和第二平面反射镜上并被反射至第二非偏振分光棱镜,经第二非偏振分光棱镜汇合后再依次经过第二透镜、孔阵列、第一非偏振分光棱镜、第三透镜和第二偏振分光棱镜形成分别含有两波长信息的载波全息图,被图像传感器采集到计算机并计算待测物体相位。它结构简单,稳定性好,光能利用率高;且调整方便,也不需任何光栅、反射针孔、角反射镜等特殊光学元件,成本低。

    透射式点衍射共路数字全息测量装置与方法

    公开(公告)号:CN108225172A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201810014924.5

    申请日:2018-01-08

    Abstract: 本发明涉及一种透射式点衍射共路数字全息测量装置与方法,属于数字全息测量领域。携带物体信息的入射光依次经过第一透镜、第一非偏振分光棱镜、孔阵列、第二透镜、第二非偏振分光棱镜后形成两束光,分别照射第一平面反射镜和第二平面反射镜上并被反射至第二非偏振分光棱镜,经第二非偏振分光棱镜汇合后再依次经过第二透镜、孔阵列和第一非偏振分光棱镜后,经第一非偏振分光棱镜反射后,再经过第三透镜形成载波全息图,被图像传感器采集到计算机并计算待测物体相位。本发明结构简单,稳定性好,光能利用率高;且调整方便,也不需任何光栅、反射针孔、角反射镜等特殊光学元件,成本低。

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