-
公开(公告)号：CN101970727A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980109021.4
申请日：2009-03-10
Applicant: 日本超精石英株式会社
CPC classification number: C03B19/095 , C30B15/10 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明提供一种石英玻璃坩埚及其制造方法，其可充分兼顾促进硅单晶提拉时的内表面的结晶化与维持坩埚的强度。石英玻璃坩埚10的特征在于：在至少直体部(10A)的自坩埚内表面起算的0.3mm～3mm的区域中所含的OH基浓度以及OH基浓度梯度越接近坩埚内表面则越大，而越远离坩埚内表面则越小。该石英玻璃坩埚是通过如下方法制造，即，在将沿着旋转的塑模的内表面堆积的石英粉加热熔融而使之玻璃化来制造玻璃坩埚的方法中，可在熔融时或熔融结束后立即导入包含水蒸汽的空气，或者可在熔融冷却后再次在包含水蒸汽的环境下进行热处理。
-
公开(公告)号：CN101891376A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200910027872.6
申请日：2009-05-18
Applicant: 扬州华尔光伏科技有限公司
Inventor： 陈宝昌
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 本发明提供了一种大尺寸石英坩锅的生产工艺，该工艺解决了大尺寸石英坩锅抗析晶性、高耐热性、减小应力和一次成型无畸变的控制方法，该工艺具体包括以下步骤：1、高纯度主要原料石英砂，检验合格投入生产试验；2、在旋转的高纯石墨模具上进行装料成型；3、将模具和成型好的石英砂移入坩锅炉内进行真空熔制；4、对熔制好的石英坩锅进行自然冷却脱模；5、初步检测石英坩锅关键指标，对达标的石英坩锅进行喷砂和研磨；6、根据客户对石英坩锅的高度要求进行切断并做倒角处理；7、对石英坩锅进行酸浸、超声、高压喷淋和烘干；8、对烘干后的石英坩锅进行终验、包装入库。
-
公开(公告)号：CN101660199A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200910171537.3
申请日：2009-08-28
Applicant: 日本特级石英株式会社
Inventor： 佐藤贤
CPC classification number: C03B19/095 , C30B15/10 , Y10T117/10 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明公开了一种用于生产硅石坩埚的设备，所述设备包括适合于通过旋转模具方法生产所述硅石坩埚的碳模具，所述碳模具具有不大于125W/(m·K)的导热性。本发明提供的用于生产硅石坩埚的设备，碳模具与常规碳模具相比导热性较低，使得有可能甚至在所使用的硅石或石英粉的量与常规生产设备相比减少的情况下，在坩埚的外表面上容易地形成具有给定厚度的烧结层。
-
公开(公告)号：CN101618941A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200810215444.1
申请日：2008-07-04
Applicant: 日本超精石英株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 本发明提供弯曲部和底部未被过度加热，形状的成形性优异，并且内部气泡少的石英玻璃坩埚的制造方法。一种石英玻璃坩埚的制造方法，其是一边对充填于旋转模具中的石英粉成形体进行抽真空一边进行电弧熔融而制造石英玻璃坩埚的方法，其特征在于，在电弧熔融开始或电弧熔融中将电极相对于模具中心线相对地向侧方移动，在偏心的位置进行电弧熔融。石英玻璃坩埚的制造方法优选整体加热的时间为电弧熔融总时间的60％以下。
-
公开(公告)号：CN101605732A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200880000318.2
申请日：2008-11-28
Applicant: 日本超精石英株式会社
CPC classification number: C03B19/095 , C30B15/10 , Y02P40/57
Abstract: 一种石英玻璃坩埚的制造方法，是基于旋转模塑法的制造石英玻璃坩埚的方法，其特征在于，将电极设置在相对于模中心线偏离的位置而进行电弧熔融，通过该偏心电弧，将坩埚的直体部、弯曲部以及底部的熔融中的玻璃温度的差控制在300℃以下，将该直体部以及底部的透明层的层厚控制在为弯曲部的透明层的层厚的 70％至120％。
-
公开(公告)号：CN1302157C
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN03818379.X
申请日：2003-07-30
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
IPC: C30B15/10
CPC classification number: C03B19/095 , C30B15/10 , Y02P40/57 , Y10S117/90 , Y10T117/10 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明的一个目的是提供一种石英玻璃坩埚，该坩埚在硅熔体的表面上振动的产生下降，不产生粗糙表面和方石英斑点，然而甚至在长期运转下也能够稳定并以高产率提拉单晶硅；提供制造该坩埚的方法也是一个目的。用于提拉单晶硅、包括具有底部和直壳部分与为其内表面提供的内层的坩埚基体的石英玻璃坩埚的特征在于，所述的内层包括从最低端到至少0.25H高度的合成石英玻璃层；从至少0.5H延伸到0.8H的天然存在的石英玻璃层或天然存在的石英玻璃和合成石英玻璃的混合层；和内层的其余部分，其选自合成石英玻璃层、天然存在的石英玻璃层以及天然和合成石英玻璃的混合石英玻璃层中的一层；其中，H表示从底部的最低端到壳部分的上端面的高度。本发明还提供一种制造上述石英玻璃坩埚的方法。
-
公开(公告)号：CN1675134A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03818653.5
申请日：2003-05-23
Applicant: 通用电气公司
Inventor： 迈克尔·P·温嫩 , 弗雷德里克·F·阿尔格伦 , 弗雷德·德奥拉齐奥 , 迈克尔·D·沃克
IPC: C03B19/09
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 一种用于生产具有低气泡含量的石英玻璃体的方法，包括在回转炉外壳(20)的炉腔(62)内熔融石英砂，以形成熔融石英。在引入石英砂过程中和加热步骤过程中，含有氦气的气体被供入炉腔内。氦气比其它气体更易于从熔融石英中扩散，结果造成较低的气泡含量。在熔融阶段之后，氦气可被氩气替换，导致更低的气泡量。通过在炉腔内的间隔开的电极(64、66)之间建立电弧(60)，可将回转炉加热。
-
公开(公告)号：CN1671891A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN03818379.X
申请日：2003-07-30
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 , 信越石英株式会社
IPC: C30B15/10
CPC classification number: C03B19/095 , C30B15/10 , Y02P40/57 , Y10S117/90 , Y10T117/10 , Y10T117/1032
Abstract: 本发明的一个目的是提供一种石英玻璃坩埚，该坩埚在硅熔体的表面上振动的产生下降，不产生粗糙表面和方石英斑点，然而甚至在长期运转下也能够稳定并以高产率提拉单晶硅；提供制造该坩埚的方法也是一个目的。用于提拉单晶硅、包括具有底部和直壳部分与为其内表面提供的内层的坩埚基体的石英玻璃坩埚的特征在于，所述的内层包括从最低端到至少0.25H高度的合成石英玻璃层；从至少0.5H延伸到0.8H的天然存在的石英玻璃层或天然存在的石英玻璃和合成石英玻璃的混合层；和内层的其余部分，其选自合成石英玻璃层、天然存在的石英玻璃层以及天然和合成石英玻璃的混合石英玻璃层中的一层；其中，H表示从底部的最低端到壳部分的上端面的高度。本发明还提供一种制造上述石英玻璃坩埚的方法。
-
公开(公告)号：CN1204069C
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN01801975.7
申请日：2001-07-09
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/095
Abstract: 本发明提供制造旋转对称的石英玻璃坩埚的方法，借助一个由一个或多个阳极和一个阴极构成的电极结构产生电弧，由此加热转动的石英玻璃坩埚的壁或壁的一部分，在此通过至少另一个由一个或多个阳极和一个阴极构成的电极结构形成另一道电弧，由此加热该石英玻璃坩埚的壁的另一个部分。在制造石英玻璃坩埚的装置中，通过至少两个均匀分布在石英玻璃坩埚外周上的且产生第一电弧和另一道电弧的电极结构来分别加热转动的石英玻璃坩埚的壁的一部分。通过使用多个电极结构，可以在到达后续加热区前缩短壁部的冷却段并由此防止不希望太高的壁温差。同时，能降低每个电极结构的所需热功率，从而抑制蒸发现象和此外出现的起泡。
-
公开(公告)号：CN1522230A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN02806111.X
申请日：2002-03-05
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C30B35/002 , C03B19/095 , C03C10/0009 , C30B15/10
Abstract: 本发明涉及一种制造石英玻璃坩埚的方法，其中坩埚基体至少一部分有一内层，其中利用结晶促进剂促进方英石的形成。为了提供一种在长运行寿期内具有可再生性质的石英玻璃坩埚的廉价的制造方法，本发明推荐，将该结晶促进剂和起还原作用的物质加到该内层中。
