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公开(公告)号:CN102175756B
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN201110039163.7
申请日:2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式二氧化硫传感器及其测量二氧化硫气体浓度的方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置三个不同极间距传感器;2)在电极上施加电压;3)测量各传感器离子流值;4)测得值与二氧化硫SO2气体浓度、温度和湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建气体浓度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立SO2气体浓度测量模型;6)传感器实测值输入测量模型,获得SO2气体浓度准确测量值。该传感器检测气体灵敏度高,线性度好,准确度高。
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公开(公告)号:CN102095791B
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN201110039977.0
申请日:2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极传感器及两组份气体浓度测量方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置多个不同极间距传感器;2)在电极上施加电压;3)测量各传感器离子流值;4)测得值与两组份气体浓度、温度、湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建两组份气体浓度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立两组份气体浓度测量模型;6)阵列中各传感器实测值输入测量模型,获得两组份气体浓度准确测量值。该传感器阵列检测两组份混合气体灵敏度高,线性度好,准确度高。
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公开(公告)号:CN102095784B
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN201110039161.8
申请日:2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/64
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极气体湿度传感器及其湿度测量方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置气体湿度传感器;2)在电极上施加电压;3)测量传感器输出离子流值;4)测得值与气体湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建气体湿度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立气体湿度测量模型;6)传感器实测值输入测量模型,获得气体湿度准确测量值。该气体湿度传感器工作电压低,测量气体湿度灵敏度高,线性度好,准确度高,可用于易燃、易爆、有毒气体的湿度测量。
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公开(公告)号:CN102095792B
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201110039989.3
申请日:2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于碳纳米管薄膜微纳米电极的气体在线检测装置,包括碳纳米管薄膜微纳米电极传感器阵列、通过屏蔽电缆线与碳纳米管薄膜微纳米电极传感器阵列中各传感器输出端相连接的基于微控制器的检测仪,以及与检测仪连接的计算机,检测仪中包含给传感器阵列供电的传感器电压源。碳纳米管薄膜微纳米电极传感器阵列实时在线检测被测气体的浓度、温度和湿度,经检测仪数据处理后传输给计算机,由计算机数据融合输出被测气体浓度、温度和湿度的测量值并打印输出。该装置不需要分离混合气体,可在线准确检测单一气体以及混合气体浓度、气体温度和湿度。其测量过程简单,测量气体种类多、浓度范围大,测量误差小,可用于各种气体的检测。
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公开(公告)号:CN101811888B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201010153532.0
申请日:2010-04-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开嵌有氧化物量子点的碳纳米管复合气敏膜的制备方法,所述的复合气敏膜是通过在硅衬底上制备一层氧化物纳米颗粒膜层,在烧结炉中高温烧结,然后在氧化物纳米颗粒膜上通过高温热解法生长碳纳米管得到的。所述的复合气敏膜是嵌有氧化物量子点的树枝状的碳纳米管。这种复合结构的气敏膜增加了电子输运和吸附的通道,增加了表面积,有利于大幅度提高气体灵敏度和选择性。这种复合气敏膜制备工艺具有操作简便、低成本的优势。
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公开(公告)号:CN102175343A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201110039164.1
申请日:2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01K7/40
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极气体温度传感器及其温度测量方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置气体温度传感器;2)在电极上施加电压;3)测量传感器输出离子流值;4)测得值与气体温度标定值组成样本,并与插值样本,构建气体温度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立气体温度测量模型;6)传感器实测值输入测量模型,获得气体温度准确测量值。该气体温度传感器工作电压低,测量气体温度灵敏度高,线性度好,准确度高,可用于易燃、易爆、有毒气体温度的测量。
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公开(公告)号:CN102095790A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN201110039976.6
申请日:2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式传感器阵列及混合气体浓度检测方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置多个不同极间距传感器;2)在电极上施加电压;3)测量各传感器离子流值;4)测得值与混合气体各组份浓度、温度、湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建混合气体浓度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立混合气体浓度测量模型;6)阵列中各传感器实测值输入测量模型,获得混合气体各组份浓度准确测量值。该传感器阵列检测气体灵敏度高,线性度好,准确度高。
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公开(公告)号:CN102095785A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN201110039227.3
申请日:2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极一氧化氮传感器及其浓度测量方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)将不同极间距的NO传感器、温度传感器以湿度传感器置于待测NO气体中;2)在电极上施加电压;3)测量各传感器离子流值;4)测得值与NO浓度、温度、湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建NO浓度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立NO浓度测量模型;6)传感器实测值输入NO浓度测量模型,获得NO浓度准确测量值。该传感器检测NO灵敏度高,线性度好,准确度高。
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公开(公告)号:CN101811888A
公开(公告)日:2010-08-25
申请号:CN201010153532.0
申请日:2010-04-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开嵌有氧化物量子点的碳纳米管复合气敏膜的制备方法,所述的复合气敏膜是通过在硅衬底上制备一层氧化物纳米颗粒膜层,在烧结炉中高温烧结,然后在氧化物纳米颗粒膜上通过高温热解法生长碳纳米管得到的。所述的复合气敏膜是嵌有氧化物量子点的树枝状的碳纳米管。这种复合结构的气敏膜增加了电子输运和吸附的通道,增加了表面积,有利于大幅度提高气体灵敏度和选择性。这种复合气敏膜制备工艺具有操作简便、低成本的优势。
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公开(公告)号:CN1765736A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200510096426.2
申请日:2005-11-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: C01B31/02
Abstract: 本发明公开了一种单温区电阻炉热解法生长并纯化碳纳米管薄膜的工艺,利用炉温曲线的分布规律,找到适合酞菁铁升华的温度区和碳纳米管的生长区,分别放置酞菁铁和生长衬底,从而在单温区电阻炉中实现酞菁铁和衬底处于不同的温度区域;采用酞菁铁作为催化剂和碳源,其升华温度为540℃~550℃,碳纳米管在衬底上的生长温度为850℃~900℃,在常压下进行反应。整个工艺包括衬底预处理、碳纳米管薄膜生长和纯化等多个步骤,得到直径为20nm~50nm,管长几十微米的碳纳米管。纯化后的碳纳米管薄膜的纯度和场发射特性大幅度提高,该工艺可以为碳纳米管场发射平板显示器、放电型气体传感器、负离子发生器以及多种其它真空微电子器件提供一种实用的阴极制备技术。
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