公开(公告)号：CN201918348U

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN201020641721.8

申请日：2010-12-03

申请人： 安徽华东光电技术研究所

发明人： 吴华夏 ,  孟昭红 ,  方卫 ,  沈旭东 ,  张丽

IPC分类号： H01J23/04

摘要： 一种高精度定位杆控阴极结构，包括阴极基体、热子组件、第一、二盖子、第一、二、三、四杯形件、卡箍、陶瓷管、钽箔片、第一、二铌片；热子组件的端面焊接在阴极基体内部，其下端阴极加热丝末端焊有两条钽箔片，陶瓷管套在该钽箔片上，第二杯形件套在阴极基体外部，形成第一组装件，第一盖子盖在第一组装件上，两片钽箔片压紧焊接在热子组件上端的阴极加热丝引线上，第三杯形件焊接在第二杯形件外部，第一杯形件焊接在第三与第四杯形件之间，第二盖子焊接在第四杯形件左侧内表面，陶瓷管周围用卡箍固定，第一铌片套在第一钽箔片上，第二铌片焊接在第一钽箔片的外端。本实用新型的优点在于：保证了杆控阴极结构的稳定性，提高了杆控阴极的合格率。

公开(公告)号：CN201838546U

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201020527254.6

申请日：2010-09-11

申请人： 安徽华东光电技术研究所

发明人： 吴华夏 ,  孟昭红 ,  沈旭东 ,  方卫 ,  于晨晨 ,  陈爱民

IPC分类号： H01J9/06

摘要： 本实用新型公开了一种空心阴极用热丝成型工装，包括有相互配合的半圆热丝成型工装和半圆热丝组合工装；半圆热丝成型工装包括有基座，基座顶面有圆轴，半圆槽；半圆热丝组合工装包括有底板，底板顶面开有环形槽，直槽，压片压在底板顶部。

公开(公告)号：CN201785480U

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201020527279.6

申请日：2010-09-11

申请人： 安徽华东光电技术研究所

发明人： 吴华夏 ,  孟昭红 ,  沈旭东 ,  方卫 ,  于晨晨 ,  陈爱民

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本实用新型公开了一种阴极镀膜设备，包括有壳体，壳体底部有管口，壳体顶部有顶盖，壳体顶部两端外有螺线包，壳体顶部中有竖向屏蔽罩，壳体中有两层中间有开孔的横向屏蔽罩，上层的横向屏蔽罩开孔中安装有支架，壳体中靠近管口有靶材，壳体顶部两端还有灯丝，灯丝与竖向屏蔽罩之间还有半圆形屏蔽罩，从横向屏蔽罩、靶材及半圆形屏蔽罩上分别有导线从壳体底部引出。