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公开(公告)号：CN111044798A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911417524.X
申请日：2019-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的可在线自检测的MEMS微波功率传感器，通过将电容式MEMS微波功率传感器和对称热电式MEMS微波功率传感器串联在MIM电容两侧，构成双通道MEMS微波功率传感器；利用分压法，通过向连有标准电阻的压焊块上施加参考电压，即可对负载电阻的阻值进行检测；被检测电阻若处于正常工作状态下，热电堆两侧的负载电阻会分得相同的电压并转化为相同的热量，即热电堆两侧的温差完全由输入的微波功率产生；并且由于在左侧共面波导信号线上设有MIM电容，隔绝MEMS悬臂梁下方的共面波导信号线和后方的共面波导信号线的直流互联，以实现测量微波功率的同时检测负载电阻的功能；该MEMS微波功率传感器具有低损耗、高灵敏度以及具有终端电阻在线自检测的特点。
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公开(公告)号：CN103812468B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410053579.8
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械固支梁式π型连续可重构微波带通滤波器通过采用一个平面螺旋电感，并且在该平面螺旋电感的左右两侧依次对称放置两个相同的MEMS可变平行板电容和两个相同的MIM电容，其中每个MEMS可变平行板电容并联连接到CPW信号线和地线之间而每个MIM电容串联连接到CPW信号线上，从而构成具有带通特性的π型拓扑结构；MEMS可变平行板电容基于静电原理实现了不同的电容大小，它的上极板为MEMS固支梁而下极板为CPW信号线，其中MEMS固支梁横跨在CPW信号线上且两个锚区位于CPW地线上，在MEMS固支梁下方CPW信号线的两侧放置驱动电极。实现了中心频率和带宽的连续调谐，且具有低的损耗、好的带外抑制、宽的频带调谐。
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公开(公告)号：CN103795365B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410052170.4
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械固支梁式四状态可重构微波带通滤波器，在砷化镓衬底（20）上设有水平放置的CPW（1）、一个平面螺旋电感（2）、两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容（3）和第二MIM电容（4）、两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容（5）和第四MIM电容（6）、四个由引线连接的第五MIM电容（7）、第六MIM电容（8）、第七MIM电容（9）和第八MIM电容（10）、第一MEMS固支梁（14）和第二MEMS固支梁（15）；当MEMS固支梁与其下方的两条引线（12）的凸点（13）相接触时，可使在CPW信号线前后两侧的由引线连接的MIM电容与CPW地线相连接，则改变了在平面螺旋电感的左右两侧的并联MIM电容的大小，实现了具有四状态的中心频率和带宽的变化。
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公开(公告)号：CN103334512B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310222589.5
申请日：2013-06-04
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种防屈曲软钢耗能墙，包括平行设置的第一钢板墙（111）和第二钢板墙（112）、预制混凝土墙（2）、对拉螺栓（6）、钢套板（8）和聚四氟乙烯板（9），其特征在于：所述第一钢板墙（111）和第二钢板墙（112）均采用软钢，第一钢板墙（111）和第二钢板墙（112）之间及其各自的外侧分别设置预制混凝土墙（2），钢板墙（1）和预制混凝土墙（2）之间加垫聚四氟乙烯板（9）。本发明构造简单，施工方便，具有良好的滞回耗能能力。该新型防屈曲软钢耗能墙必将拥有广泛的工程应用前景。
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公开(公告)号：CN102403561B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201110283677.7
申请日：2011-09-22
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器不但具有低损耗、高隔离度和良好的方向性，而且该微波功率耦合器具有紧耦合和松耦合两种工作状态。该结构以砷化镓为衬底，具有两个MEMS悬臂梁结构，它位于主微带线和过渡微带线之间的空隙中，其MEMS悬臂梁的锚区与主微带信号线相连接；悬臂梁下方具有驱动电极，在驱动电极上覆盖氮化硅介质层；在悬臂梁自由端下方具有带凸点的过渡微带信号线，且其凸点上没有氮化硅介质层。通过控制MEMS悬臂梁结构有无驱动电压，使MEMS悬臂梁处于DOWN或UP态，实现主微带线和过渡微带线是否形成电气连接，从而该微波功率耦合器实现紧耦合或松耦合状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103812466A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410052369.7
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明是一种微机械悬臂梁式四状态可重构微波带通滤波器，不但具有传统可重构带通滤波器的低损耗和好的带外抑制等特点，而且因采用一个电感量较小的平面螺旋电感具有较小的芯片面积，宽的频带调谐以及与砷化镓单片微波集成电路兼容。两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容依次对称放置在一个平面螺旋电感的左右两侧，构成该微波带通滤波器的基本结构；其滤波器的可重构是由两个MEMS悬臂梁和四个由引线连接的MIM电容构成的。通过控制MEMS悬臂梁使得由引线连接的MIM电容并联连接到CPW信号线和地线之间，从而改变了在平面螺旋电感左右两侧的并联的MIM电容的大小，实现了四状态的中心频率和带宽的改变。
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公开(公告)号：CN103812465A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410052364.4
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械固支梁式十六状态可重构微波带通滤波器通过两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容依次对称放置在一个平面螺旋电感的左右两侧，从而构成该滤波器的带通特性；将四个由引线连接的MIM电容对称放置在平面螺旋电感的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容之间；每个由引线连接的MIM电容具有不同的电容值；通过四个MEMS固支梁分别控制四个由引线连接的MIM电容是否与CPW地线相连接，从而利用一个较小电感量的平面螺旋电感和几个较小电容值的MIM电容实现该可重构微波带通滤波器具有十六状态的中心频率和带宽的变化，突破了传统可重构微波带通滤波器的电感和电容数量多且其值较大的限制。
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公开(公告)号：CN103795365A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052170.4
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械固支梁式四状态可重构微波带通滤波器，在砷化镓衬底（20）上设有水平放置的CPW（1）、一个平面螺旋电感（2）、两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容（3）和第二MIM电容（4）、两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容（5）和第四MIM电容（6）、四个由引线连接的第五MIM电容（7）、第六MIM电容（8）、第七MIM电容（9）和第八MIM电容（10）、第一MEMS固支梁（14）和第二MEMS固支梁（15）；当MEMS固支梁与其下方的两条引线（12）的凸点（13）相接触时，可使在CPW信号线前后两侧的由引线连接的MIM电容与CPW地线相连接，则改变了在平面螺旋电感的左右两侧的并联MIM电容的大小，实现了具有四状态的中心频率和带宽的变化。
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公开(公告)号：CN102393487B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201110229109.9
申请日：2011-08-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的呈72º角五端口微电子机械微波功率传感器不但具有传统热电式微波功率传感器的优点，如低损耗、高灵敏度、好的线性度，而且具有实现五端口微波功率的测量、高的集成度以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。该结构在砷化镓衬底上，有五个用于传输微波信号的CPW输入端，它们彼此对称放置且相互之间呈72º的角，在每个CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这五对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆，这五对热电偶相互之间也同样呈72º的角；金属散热片被热电堆的冷端环绕；MEMS衬底膜结构位于终端匹配电阻和热电堆的热端下方。
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公开(公告)号：CN102385001B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201110229127.7
申请日：2011-08-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的三通道微机械悬臂梁间接式微波功率传感器，通过把三个主线CPW相互之间呈120º的角放置，在每个主线CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这三对热电偶相互之间也同样呈120º的角放置并串联连接形成热电堆，从而实现三通道微波功率的测量；同时在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS悬臂梁，MEMS悬臂梁的一端未被固定而另一端通过悬臂梁的锚区与副线CPW信号线相连接，其副线CPW另一端也连接两个终端匹配电阻，在这两个终端匹配电阻附近有一个热电堆，从而能够检测其中哪些通道输入了微波功率及其微波功率大小的比例；同时它具有低损耗、高灵敏度、好的线性度、高的集成度以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。
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