一种光亮镀钌电镀液、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN117737802A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311690308.9

    申请日:2023-12-11

    申请人: 东北大学

    IPC分类号: C25D3/52 C25D5/00

    摘要: 本发明属于电镀技术领域,公开了一种光亮镀钌电镀液、制备方法及应用。该光亮镀钌电镀液配方的各组分为:钌的无机盐2~100g/L,非水溶剂和添加剂。使用该镀钌电镀液的操作条件为:电流密度0.1~8A/dm2,镀钌电镀液温度30~90℃,时间5~60min。采用所述镀液能获得晶粒小、表面光亮无裂纹、纯度高的钌镀层。与其他镀液相比,本发明组成成分简单,属于一种低成本、无毒性、绿色环保的镀液。

    一种用于铂金电铸工艺的电铸液及其制备方法

    公开(公告)号:CN116856016A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202310892970.6

    申请日:2023-07-20

    发明人: 罗翔

    IPC分类号: C25D1/00 C25D3/52

    摘要: 本发明公开了一种用于铂金电铸工艺的电铸液及其制备方法,所述电铸液包含二亚硝基二氨铂、亚硝酸钠、缓冲盐、润湿剂、稳定剂、硬度剂、改性增效剂和去离子水;所述改性增效剂具有如下式A所示结构。本发明提供的用于铂金电铸工艺的电铸液可以显著减少氢脆的问题的发生,并且可以提高镀层厚度和结合强度。#imgabs0#

    一种环保电镀液及其电镀方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114232039A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202210040595.8

    申请日:2022-01-14

    发明人: 万德胜 左志元

    IPC分类号: C25D3/52

    摘要: 本发明公开了一种环保电镀液,它是由金属钌5g/L、镍2g/L、锰3g/L和硫酸铵10g/L组成;一种环保电镀液的电镀方法,包括步骤一,原材料的和计量工具的选择;步骤二,配制溶液;步骤三,将电镀基体放入电镀液中加热;步骤四,对加热后的电镀液进行处理;步骤五,对基体进行清洗和吹干。本发明镀层光亮、平整,且镀铜层与基材结合力好,且镀层紧密均匀,耐磨、耐腐蚀、耐热冲击性能好,具有良好的高温导热绝缘性能。

    一种用于微纳沟槽和盲孔填充的电镀钌镀液及配制方法

    公开(公告)号:CN113106507B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202110402994.X

    申请日:2021-04-15

    IPC分类号: C25D3/52 H05K3/42

    摘要: 本发明涉及一种用于微纳沟槽和盲孔填充的电镀钌镀液,属于电子制造技术领域。本发明所提出的一种用于微纳沟槽和盲孔填充的电镀钌镀液中各组分及电镀条件如下:基础电镀液(以钌含量计)2‑10g/L;添加剂A 1‑100mL/L;添加剂B 1‑100mL/L;pH 0.5‑3;电流密度0.1‑2A/dm2;温度50‑80℃;所述基础电镀液由主盐、稳定剂和加速剂组成,所述主盐为钌的可溶性无机酸盐;所述添加剂A为硫酸铈(IV)和表面活性剂混合制成的浓缩液;所述添加剂B包括多巴胺和乙酰丙酮,所述添加剂B还包括还原性物质和吡啶类化合物中的一种或几种。利用本发明公开的镀液所沉积的钌金属可以替代大规模集成电路制造中电镀铜填充微纳沟槽和盲孔所存在的缺陷,有利于提升器件的可靠性。

    高温合金表面致密型富Re阻扩散涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN113789557A

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202111093030.8

    申请日:2021-09-17

    摘要: 本发明公开了一种高温合金表面致密型富Re阻扩散涂层的制备方法,包括以下步骤:试样表面处理:依次对试样表面进行打磨及喷砂处理,清洗试样表面;电镀高Re含量NiRe层:将表面处理后的试样置于NiRe溶液中电镀Ni‑Re层;高温预扩散处理:将电镀NiRe层后的试样在真空炉中进行高温预扩散处理;化学气相沉积法(CVD)渗铝:对高温预扩散处理后的试样进行CVD渗铝;电镀Pt层:对渗铝后的试样进行表面处理,将表面处理后的试样放入碱性镀铂溶液中电镀Pt层;电镀后扩散处理:使用真空炉对镀铂后的试样进行高温扩散处理。该制备方法能够保证NiRe镀层中Re含量≥40at.%,镀层与基体之间的结合力较强,高温扩散处理后富Re阻扩散层的组织结构为单相富Re相。

    一种金属钌掺杂的钛电极的制备方法

    公开(公告)号:CN109338428B

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201811211514.6

    申请日:2018-10-18

    申请人: 任杰

    发明人: 任杰 刘忆玲 冯莉

    IPC分类号: C25D5/38 C25D3/52 C25D5/50

    摘要: 本发明公开了一种金属钌掺杂的钛电极的制备方法,包括以下三个步骤:(1)钛电极片处理:分别经过工艺按如下顺序进行:预处理,冲洗,水洗,脱脂脱蜡,弱蚀和冲洗6个步骤。(2)添加剂筛选及溶度调节,(3)金属钌溶液的浓度配置。与现有技术相比,本发明方法所用镀液节约,需要的制备条件温和。同时还公开了用本发明方法制备的钌掺杂钛电极电解制备NaClO的方法。和现有的制备方法及产品相比,本发明方法所得的产物生成率高、电极的活性高及掺杂电极稳定性好。