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公开(公告)号：CN103403352A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201280010994.4
申请日：2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B43/02 , F04B43/0054
Abstract: 本发明提供一种能够使隔膜的性能保持稳定的泵装置。上述泵装置具有一端连接在隔膜上且另一端连接在驱动机构上的驱动部件，驱动机构侧的一端反复沿着第1轴方向进行往复运动和沿着第2轴方向进行摆动。于是，会产生如下问题：由于隔膜侧的一端沿着第1轴方向与所述驱动机构联动而进行往复运动，因而使隔膜在其易延伸方向上，例如在进行摆动的第2轴方向上容易劣化，断裂。因此，通过将具有沿第2轴方向延伸的纤维的基布埋设在隔膜中，能够提高隔膜在第2轴方向上的强度及其耐久性。另外，通过设置表示第2轴方向的指示部，能够辨别埋设在隔膜内的基布纤维的延伸方向。即使在组装泵装置时，也能很容易地沿着所期望的方向将上述隔膜设置在泵主体上。
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公开(公告)号：CN102536754A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110386882.6
申请日：2011-11-29
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种可在停止运转时限制流体排出的泵装置。泵装置(3)具备壳体(10)、可动构件(30)、吸入阀(41)、排出阀(42)、以及阀机构(50)。壳体(10)具有可与吸入口(101)和排出口(102)分别连通的泵室(100)。可动构件(30)可在壳体(10)的内部移动，交互进行向泵室(100)吸入流体和从泵室(100)排出流体。排出阀(42)安装于泵室(100)和排出口(102)之间，允许大于或等于第一压力的流体从泵室(100)向排出口(42)流动。阀机构(50)安装于壳体(10)上，限制大于所述第一压力且小于或等于第二压力的流体从吸入口(101)向排出口(102)流动。
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公开(公告)号：CN1740566A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510091600.4
申请日：2005-08-26
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04B45/04
Abstract: 本发明提供一种隔膜型真空泵，其可以防止运转时发生轴承振动、蠕变，能够降低运转噪音。在电机轴(5)的轴承(6a、6b)的外圈与嵌合该轴承(6a、6b)的外壳(7a、7b)之间、连杆(13a、13b)的轴承(11a、11b)与连杆(13a、13b)之间、电机轴(5)的轴承(6a、6b)的内圈与电机轴(5)之间、以及连杆(13a、13b)的轴承(11a、11b)的内圈与偏芯轴(9a、9b)之间分别涂布有粘结剂，进行接合。
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公开(公告)号：CN103403352B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280010994.4
申请日：2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B43/02 , F04B43/0054
Abstract: 本发明提供一种能够使隔膜的性能保持稳定的泵装置。上述泵装置具有一端连接在隔膜上且另一端连接在驱动机构上的驱动部件，驱动机构侧的一端反复沿着第1轴方向进行往复运动和沿着第2轴方向进行摆动。于是，会产生如下问题：由于隔膜侧的一端沿着第1轴方向与所述驱动机构联动而进行往复运动，因而使隔膜在其易延伸方向上，例如在进行摆动的第2轴方向上容易劣化，断裂。因此，通过将具有沿第2轴方向延伸的纤维的基布埋设在隔膜中，能够提高隔膜在第2轴方向上的强度及其耐久性。另外，通过设置表示第2轴方向的指示部，能够辨别埋设在隔膜内的基布纤维的延伸方向。即使在组装泵装置时，也能很容易地沿着所期望的方向将上述隔膜设置在泵主体上。
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公开(公告)号：CN102536754B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201110386882.6
申请日：2011-11-29
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种可在停止运转时限制流体排出的泵装置。泵装置(3)具备壳体(10)、可动构件(30)、吸入阀(41)、排出阀(42)、以及阀机构(50)。壳体(10)具有可与吸入口(101)和排出口(102)分别连通的泵室(100)。可动构件(30)可在壳体(10)的内部移动，交互进行向泵室(100)吸入流体和从泵室(100)排出流体。排出阀(42)安装于泵室(100)和排出口(102)之间，允许大于或等于第一压力的流体从泵室(100)向排出口(42)流动。阀机构(50)安装于壳体(10)上，限制大于所述第一压力且小于或等于第二压力的流体从吸入口(101)向排出口(102)流动。
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公开(公告)号：CN301300960S
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200930266895.3
申请日：2009-11-16
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 1.本产品是一种真空泵。2.本产品可用作分析机的涡轮分子泵、电子显微镜的辅助泵，也可用在物理化学实验装置、激光应用设备、真空排气装置和检漏器等设备上。3.本外观设计的设计要点在于电容箱的形状(即立体图最上部、俯视图最上部、右视图右上部显示的略扁平筐体)。4.指定立体图为出版公报视图。
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