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发明公开
压电薄膜及压电薄膜元件审中-实审

公开(公告)号：CN118678867A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202410286628.6

申请日：2024-03-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 功刀千香 , 井上柚华梨 , 石井健太 , 日色和成

IPC: H10N30/85

Abstract: 压电薄膜具有第一主面和位于第一主面的背侧的第二主面。压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的结晶质的氮化铝。氮化铝包含二价元素及四价元素。或者，氮化铝包含三价元素。第二主面的展开界面面积比Sdr为0.001以上且0.100以下。

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