公开(公告)号：CN1288499C

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN03125520.5

申请日：2003-08-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 岛基之 ,  石井宽之 ,  山本将史 ,  松田大一 ,  中村敦

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0397 ,  Y10S430/122

Abstract: 一种辐射线敏感树脂组合物，包含：(A)含有至少两种式(1)-(6)的重复单元的树脂，总量5-70mol%，但每一种的量为1-49mol%，该树脂不溶于或几乎不溶于碱，但在酸的作用下易溶于碱，和(B)光酸发生剂。其中，R1表示氢原子或甲基R2表示具有1-4个碳原子的取代或未取代烷基。该树脂组合物用作化学放大保护层，该保护层对辐射线具有高透射率，感光度，分辨率，抗干蚀刻性以及保护层图案。

公开(公告)号：CN1654534A

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN200510007722.0

申请日：2005-02-08

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 松田大一 ,  岩本聪 ,  望月勇 ,  川岸诚治 ,  伊藤克美 ,  迎居浩昭

IPC: C08L33/14 ,  C08K7/00 ,  G03F7/09 ,  H01J17/04 ,  H01J11/02

Abstract: 提供能够通过低温短时间焙烧处理适合地形成表面平滑性优良以及保存稳定性优良的显示屏用部件的含无机粉末的树脂组合物、具有该树脂组合物形成的层的转印薄膜、以及用该转印薄膜制造显示屏用部件的方法。本发明涉及的含无机粉末的树脂组合物特征在于包括(A)无机粉末，和(B)含有聚合物的粘合树脂，所述聚合物具有以下通式(I)表示的结构单元，式中，R为1价的有机基团。本发明涉及的显示屏用部件的制造方法特征在于包括使用具有上述含无机粉末树脂组合物形成的树脂层的转印薄膜，将该树脂层转印至基板上，将该含无机粉末的树脂层进行焙烧处理的工序。

公开(公告)号：CN1501166A

公开(公告)日：2004-06-02

申请号：CN03125520.5

申请日：2003-08-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 岛基之 ,  石井宽之 ,  山本将史 ,  松田大一 ,  中村敦

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0397 ,  Y10S430/122

Abstract: 一种辐射线敏感树脂组合物，包含：(A)含有至少两种式(1)－(6)的重复单元的树脂，总量5－70mol％，但每一种的量为1－49mol％，该树脂不溶于或几乎不溶于碱。但在酸的作用下易溶于碱。和(B)光酸发生剂。其中，R1表示氢原子或甲基，R2表示具有1－4个碳原子的取代或未取代烷基。该树脂组合物用作化学放大保护层，该保护层对辐射线具有高透射率，感光度，分辨率，抗干蚀刻性以及保护层图案。