公开(公告)号：CN1797197A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200510138090.1

申请日：2005-11-17

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 一户大吾 ,  西尾寿浩 ,  浜口仁 ,  岩渕智子 ,  米仓勇 ,  梶田彻

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 ,  G02F1/133

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：[A](a1)烯键式不饱和羧酸和/或烯键式不饱和羧酸酐与(a2)其它的烯键式不饱和化合物的共聚物；[B]具有烯键式不饱和键的聚合性化合物；以及[C]O－酰基肟型光聚合引发剂。提供一种感光性树脂组合物，其可以以高灵敏度忠实地再现掩模图案的设计尺寸，且与基板的附着性优异，能够在1500J/m2或以下的曝光量下得到足够好的间隔体形状和膜厚，强度、耐热性等也优异，并且，在低曝光量区域中间隔体的形状和膜厚的控制性优异，在贮存期间和使用过程中很难产生异物，可以形成工艺稳定性和经时稳定性优异的显示面板用间隔体。