公开(公告)号：CN103890559B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280052945.7

申请日：2012-10-25

Applicant: FEI公司

Inventor： M.巴雷特 ,  M.D.史密斯 ,  M.格里克 ,  P.斯卡内蒂 ,  R.托维

IPC: G01N1/36 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N2223/307 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2826

Abstract: 一种样品支座总成包括样品托盘、基板、样品台底座、以及安装到样品台底座上的校准用基准。基板的底部上的三个配合结构与附接到SEM的样品台上的样品台底座上的相应结构紧密配合。任选的接触导体在样品台底座与基板之间提供电接触从而使得电子束在样品上生成的电荷可以离开样品通过样品导电层到达样品托盘、基板、样品台底座、以及通过接地样品台。

公开(公告)号：CN104870986A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380068337.X

申请日：2013-12-26

Applicant: FEI公司

Inventor： M.D.史密斯 ,  M.库尔特

IPC: G01N23/225 ,  G01N23/203

CPC classification number: G01N23/2252 ,  G01N23/203 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/072 ,  G01N2223/076 ,  G01N2223/079 ,  G01N2223/305 ,  G01N2223/32 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21

Abstract: 一种用于使用电子显微镜确定样本的矿物含量的方法和系统。该方法包括将电子束导向样本的感兴趣区域，所述感兴趣区域包括矿物的未知构成。显微镜的后向散射电子检测器和样本的感兴趣区域之间的工作距离被确定。对于工作距离和预定工作距离之间的差作出补偿，其中预定工作距离是为所检测的后向散射电子提供期望灰度值的工作距离。补偿工作距离变化的一种方式是使用显微镜的自动对焦特征来调整工作距离。随后，来自样本的感兴趣区域的后向散射电子被检测。

公开(公告)号：CN103890559A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280052945.7

申请日：2012-10-25

Applicant: FEI公司

Inventor： M.巴雷特 ,  M.D.史密斯 ,  M.格里克 ,  P.斯卡内蒂 ,  R.托维

IPC: G01N1/36 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N2223/307 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2826

Abstract: 一种样品支座总成包括样品托盘、基板、样品台底座、以及安装到样品台底座上的校准用基准。基板的底部上的三个配合结构与附接到SEM的样品台上的样品台底座上的相应结构紧密配合。任选的接触导体在样品台底座与基板之间提供电接触从而使得电子束在样品上生成的电荷可以离开样品通过样品导电层到达样品托盘、基板、样品台底座、以及通过接地样品台。