衍射光学元件、投影装置及计测装置

    公开(公告)号:CN110662989A

    公开(公告)日:2020-01-07

    申请号:CN201880034423.1

    申请日:2018-05-16

    Abstract: 本发明提供能稳定地产生规定图案的光斑,并且光利用效率高的衍射光学元件、投影装置以及计测装置。本发明的衍射光学元件具备:透明基材;设置成与透明基材的一个表面接触的凹凸部;和填充凹凸部的凹部并且覆盖凹凸部的凸部的上表面以使凹凸部平坦化的填充部,凹凸部在透明基材的上述表面上构成2级以上的级,并且各级的上表面相互平行,相对于从透明基材的表面的法线方向入射的入射光的、透明基材、凹凸部和填充部中的至少凹凸部和填充部的折射率是不同的,透明基材、凹凸部和填充部相对于入射光的折射率均为2.2以下。

    衍射光学元件及计测装置

    公开(公告)号:CN109061887B

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN201810876804.6

    申请日:2012-03-02

    Inventor: 宫坂浩司

    Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件及计测装置,该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域,具有:第1衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光;第2衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光,使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部,从上述第2衍射光学部产生衍射光,所述衍射光学元件的特征在于,上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1,产生的衍射光的光斑的数量为k1,上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2,产生的衍射光的光斑的数量为k2时,θ1≥θ2且k1≥k2,或者θ1≤θ2且k1≤k2,通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

    光学元件、光学系统、以及光学装置

    公开(公告)号:CN112470043A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201980049572.X

    申请日:2019-07-22

    Inventor: 宫坂浩司

    Abstract: 光学元件(10)构成为,包括:凸缘部(13),其具有从曲面向外径方向延伸的环状的平坦部;和光吸收层(14),其在凸缘部(13)的至少一部分用于降低光从光学元件(10)的内部入射时的反射率,光吸收层的厚度为2μm以下。或者,光学元件(10)构成为,包括凸缘部(13),凸缘部(13)具有从曲面向外径方向延伸的环状的平坦部,凸缘部(13)的侧面的算术平均粗糙度Ra为0.1μm以下,在凸缘部(13)的至少一部分具有包含金属、半导体或电介质的光吸收层(14)。

    层叠体及其制造方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110573337A

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201880025640.4

    申请日:2018-04-17

    Abstract: 本发明涉及利用粘合剂粘合至少包含玻璃的多个部件而成的层叠体,其特征在于,在被粘合的上述玻璃的层叠面的端部具有倒角部,且在上述倒角部附着有上述粘合剂。根据本发明的层叠体,粘合剂不会溢出至附着于玻璃以及部件的侧面,且对各部件的特性、使用用途也不会给予影响。

    衍射光学元件及计测装置

    公开(公告)号:CN106154563B

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201610663875.9

    申请日:2012-03-02

    Inventor: 宫坂浩司

    Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件及计测装置,该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域,具有:第1衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光;第2衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光,使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部,从上述第2衍射光学部产生衍射光,所述衍射光学元件的特征在于,上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1,产生的衍射光的光斑的数量为k1,上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2,产生的衍射光的光斑的数量为k2时,θ1≥θ2且k1≥k2,或者θ1≤θ2且k1≤k2,通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

    光学元件、光学系统、以及拍摄装置

    公开(公告)号:CN111902740A

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN201980021121.5

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 本发明涉及一种光学元件,其特征在于,具有:光学面;锥形部,其位于光学面的外周侧,且上述锥形部的从光学元件内部朝向外部的法线方向朝向光轴侧;以及侧面部,其位于锥形部的外周侧,在包含光轴且穿过锥形部的截面中,使从锥形部的光轴侧的端点至侧面部的与光轴垂直的直线距离为A,使以上述直线为基准的锥形部的高度为B时,B/A大于0.2。

    光学装置及光学构件
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107209304B

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201680006330.9

    申请日:2016-01-14

    Inventor: 宫坂浩司

    Abstract: 本发明的光学构件具备反射散射部(11),反射散射部(11)具备对例如可见光(102)进行反射并使例如红外光(101a)透射的选择反射部(13)、至少设置在选择反射部的第一侧(视觉辨认侧)并使可见光(102)散射的散射部(12),光学构件对于红外光(101a)的直进透射率为75%以上。散射部(12)也可以是具备具有衍射构造的结构、在选择反射部(13)具有的反射构件的第一侧表面上形成的凹凸面、微粒子含有树脂层的结构。选择反射部(13)的反射构件也可以是电介质多层膜或胆甾相液晶层。而且,反射散射部(11)也可以具备在面内具有取向轴不同的多个区域的胆甾相液晶层。

    衍射光学元件及计测装置

    公开(公告)号:CN109061887A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201810876804.6

    申请日:2012-03-02

    Inventor: 宫坂浩司

    CPC classification number: G02B27/0944 G02B27/4266

    Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件及计测装置,该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域,具有:第1衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光;第2衍射光学部,对入射的光产生二维的衍射光,使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部,从上述第2衍射光学部产生衍射光,所述衍射光学元件的特征在于,上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1,产生的衍射光的光斑的数量为k1,上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2,产生的衍射光的光斑的数量为k2时,θ1≥θ2且k1≥k2,或者θ1≤θ2且k1≤k2,通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

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