用于电子工业中的溶剂
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109690415B

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN201680089183.6

    申请日:2016-09-28

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 适用于从显示器/半导体衬底或电子加工设备中尤其去除光刻胶和聚(酰胺酸)/聚酰亚胺的溶剂基本上由以下组成:(A)由二甲亚砜(DMSO)和N‑甲酰基吗啉中的至少一种组成的第一组分,以及(B)由以下中的至少一种组成的第二组分:N,N‑二甲基丙酰胺、3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺、N,N‑二甲基乙酰乙酰胺和N‑甲基‑ε‑己内酰胺。