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公开(公告)号：CN115826273A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211672464.8
申请日：2022-12-26
Applicant: 长安大学
IPC: G02F1/015
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯超材料的功能器件，包括衬底，衬底的上表面设置有金属超材料层，金属超材料层的上表面设置有石墨烯层；衬底的上表面还设置有金属电极层，金属电极层和石墨烯层的上表面设置有离子凝胶层。本发明还公开了上述功能器件的制备方法，包括以下步骤：在衬底上旋涂光刻胶，放入电子束曝光反应室，曝光，显影，蒸镀金属钛和金，进行Lift‑off过程，得到金属超材料层；将石墨烯薄膜转移至金属超材料层上，得到石墨烯层；再用掩模版覆盖在样品上方，蒸镀金属钛和金，得到金属电极层；最后旋涂离子凝胶，并静置1h，最终得到基于石墨烯超材料的功能器件。
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