公开(公告)号：CN107430962B

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201680013454.X

申请日：2016-02-02

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M.F.艾米 ,  Y.林

IPC: H01H59/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS开关，其包括基板和形成在基板上的开关结构，其中开关结构进一步包括形成在基板上的导电触点、联接至基板的自补偿锚定结构以及包括第一端部和第二端部的梁，该梁在第一端部处与自补偿锚定结构形成一体并且从所述自补偿锚定结构垂直地向外延伸以及悬挂在所述基板上，使得所述第二端部包括定位在所述导电触点以上的悬臂部分。梁的悬臂部分在基板与开关结构之间的应变不匹配的时间段期间经历变形，以便相对于基板具有起跳角度，并且自补偿锚定结构与悬臂部分垂直地引导应变不匹配的一部分，以便使锚定器弯曲并且补偿悬臂部分的起跳角度。

公开(公告)号：CN108508233B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201711457033.9

申请日：2017-12-28

Applicant: 通用电气公司

Inventor： S.A.佐托夫 ,  A.M.卡斯滕 ,  Y.林 ,  J.H.卡普 ,  W.A.查伦纳 ,  A.J.克诺布罗赫

IPC: G01P15/03

Abstract: 一种加速计包括控制器、可操作地联接至控制器的光源，以及联接至光源且构造成接收由光源输出的光的分叉波导。分叉波导包括第一波导部分和第二波导部分。加速计还包括可操作地联接至控制器且构造成从第一波导部分接收光的第一谐振器，以及可操作地联接至控制器且构造成从第二波导部分接收光的第二谐振器。第一谐振器包括第一检测质量块，且第二谐振器包括第二检测质量块。

公开(公告)号：CN108508233A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201711457033.9

申请日：2017-12-28

Applicant: 通用电气公司

Inventor： S.A.佐托夫 ,  A.M.卡斯滕 ,  Y.林 ,  J.H.卡普 ,  W.A.查伦纳 ,  A.J.克诺布罗赫

IPC: G01P15/03

CPC classification number: G01P15/093 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/097 ,  G01P2015/0837

Abstract: 一种加速计包括控制器、可操作地联接至控制器的光源，以及联接至光源且构造成接收由光源输出的光的分叉波导。分叉波导包括第一波导部分和第二波导部分。加速计还包括可操作地联接至控制器且构造成从第一波导部分接收光的第一谐振器，以及可操作地联接至控制器且构造成从第二波导部分接收光的第二谐振器。第一谐振器包括第一检测质量块，且第二谐振器包括第二检测质量块。

公开(公告)号：CN107430962A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680013454.X

申请日：2016-02-02

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M.F.艾米 ,  Y.林

IPC: H01H59/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS开关，其包括基板和形成在基板上的开关结构，其中开关结构进一步包括形成在基板上的导电触点、联接至基板的自补偿锚定结构以及包括第一端部和第二端部的梁，该梁在第一端部处与自补偿锚定结构形成一体并且从所述自补偿锚定结构垂直地向外延伸以及悬挂在所述基板上，使得所述第二端部包括定位在所述导电触点以上的悬臂部分。梁的悬臂部分在基板与开关结构之间的应变不匹配的时间段期间经历变形，以便相对于基板具有起跳角度，并且自补偿锚定结构与悬臂部分垂直地引导应变不匹配的一部分，以便使锚定器弯曲并且补偿悬臂部分的起跳角度。