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发明公开
模制压电支柱装置的方法审中-实审

公开(公告)号：CN118614169A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202380018867.7

申请日：2023-01-25

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： L·C·J·M·彼得斯 , G·H·基淋克 , P·L·M·J·范尼尔 , R·G·F·A·费尔贝克

IPC: H10N30/857 , H10N30/084

Abstract: 使用带有压电可模制层(10)的基材(20)制造压电装置(100)。压印件(30)包括由相互连接的侧壁(32)的网格形成的单元格(30u)的重复型式，侧壁(32)将相应孔隙(31)分隔开。模制加工包括将压印件(30)推动(F)到可模制层(10)中。这导致压电材料(M)被推动到相应孔隙(31)中，并形成支柱(11)的阵列。在压印件中，由相应孔隙(31)形成的敞开面积(A31)的部分多于由周围侧壁(32)形成的实心面积(A32)的部分。在所生成的支柱结构中，由支柱(11)形成的活性面积(A11)的部分多于支柱(11)之间的非活性面积(A12)的部分。压印件(30)可以适于在使用相对较薄的侧壁(32)的同时改进结构整体性。

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