公开(公告)号：CN1265737A

公开(公告)日：2000-09-06

申请号：CN98807726.4

申请日：1998-08-06

Applicant: 罗伯特·博施有限公司

Inventor： 于尔根·哈恩 ,  格茨·屈恩勒

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/065 ,  G01J4/00

Abstract: 本发明涉及一种用于测定一个基底上覆盖层厚度的椭圆计－测量装置。具有一个发出入射光(9)的光源(3),一个将偏振化的入射光(9)导至基底的照射点(P)处的发射镜组,以及一个接受镜组,后者将基底的照射点(P)处形成的反射光(10)导至一个光接受装置(5.7)、具有一个检偏振器(5.4),其中,入射光(9)与检偏振器(5.4)的偏振方向随时间相互相对改变,由此产生的强度变化被借助一个数据处理装置(7)用来确定覆盖层厚度。简便的操作和覆盖层厚度的准确测量,即使在难于接近并且曲率不同的被测物体上也能实现。这是由于设置了一个角度测量装置(5.7,7.1),通过它可获得反射光束(10)相对于基底上照射点(P)处切平面的角度(β),而覆盖层厚度能够借助于数据处理装置(7)根据测得的角度(β)来确定出。

公开(公告)号：CN1155797C

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN98807726.4

申请日：1998-08-06

Applicant: 罗伯特·博施有限公司

Inventor： 于尔根·哈恩 ,  格茨·屈恩勒

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/065 ,  G01J4/00

Abstract: 本发明涉及一种用于测定一个基底上覆盖层厚度的椭圆计-测量装置。具有一个发出入射光(9)的光源(3)，一个将偏振化的入射光(9)导至基底的照射点(P)处的发射镜组，以及一个接受镜组，后者将基底的照射点(P)处形成的反射光(10)导至一个光接受装置(5.7)、具有一个检偏振器(5.4)，其中，入射光(9)与检偏振器(5.4)的偏振方向随时间相互相对改变，由此产生的强度变化被借助一个数据处理装置(7)用来确定覆盖层厚度。简便的操作和覆盖层厚度的准确测量，即使在难于接近并且曲率不同的被测物体上也能实现。这是由于设置了一个角度测量装置(5.7，7.1)，通过它可获得反射光束(10)相对于基底上照射点(P)处切平面的角度(β)，而覆盖层厚度能够借助于数据处理装置(7)根据测得的角度(β)来确定出。