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公开(公告)号：CN101676730B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200910166604.2
申请日：2009-08-20
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: G01P15/097 , G01L1/10
CPC classification number: G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种耐冲击性优秀的振动型传感器，其通过防止因施加于传感器的冲击等而产生于振动片的应力集中，来防止振动片的破损。上述振动型传感器具有：振动片(11)，其具有以预定的共振频率在平面方向弯曲振动的梁状的振动臂(15、16)，并且从振动臂(15、16)的一个端部起依次形成有第一基部(12)、第一收缩部(8)和第一支撑部(17)，而且从振动臂(15、16)的另一端部起依次形成有第二基部(13)、第二收缩部(9)和第二支撑部(18)；以及基座(23)，其用于支撑振动片(11)，振动片(11)的第一支撑部(17)和第二支撑部(18)的一个主面(31)与基座(23)连接。
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公开(公告)号：CN101676730A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200910166604.2
申请日：2009-08-20
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: G01P15/097 , G01L1/10
CPC classification number: G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种耐冲击性优秀的振动型传感器，其通过防止因施加于传感器的冲击等而产生于振动片的应力集中，来防止振动片的破损。上述振动型传感器具有：振动片(11)，其具有以预定的共振频率在平面方向弯曲振动的梁状的振动臂(15、16)，并且从振动臂(15、16)的一个端部起依次形成有第一基部(12)、第一收缩部(8)和第一支撑部(17)，而且从振动臂(15、16)的另一端部起依次形成有第二基部(13)、第二收缩部(9)和第二支撑部(18)；以及基座(23)，其用于支撑振动片(11)，振动片(11)的第一支撑部(17)和第二支撑部(18)的一个主面(31)与基座(23)连接。
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公开(公告)号：CN105429607B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201510583828.9
申请日：2015-09-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种振动装置、电子设备以及移动体，其中，振动装置具备：基台，其具有固定部和被连接于固定部上的可动部；振动元件，其具有第一基部、第二基部、一端被连接于第一基部上而另一端被连接于第二基部上的振动臂，并且，第一基部被固定于固定部上，第二基部被固定于可动部上；锤部，其被连接于可动部上；应力缓和部，其被设置于锤部的连接区域和振动臂之间。
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公开(公告)号：CN105429607A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510583828.9
申请日：2015-09-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种振动装置、电子设备以及移动体，其中，振动装置具备：基台，其具有固定部和被连接于固定部上的可动部；振动元件，其具有第一基部、第二基部、一端被连接于第一基部上而另一端被连接于第二基部上的振动臂，并且，第一基部被固定于固定部上，第二基部被固定于可动部上；锤部，其被连接于可动部上；应力缓和部，其被设置于锤部的连接区域和振动臂之间。
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公开(公告)号：CN108427010A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810121613.9
申请日：2018-02-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供物理量检测装置及电子设备，所述物理量检测装置具备：物理量检测传感器；以及具有用于保持所述物理量传感器的多个保持部的块表面且作为保持部件的金属块，块表面在与物理量检测传感器相对的区域形成有槽部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107064556B
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201611199825.6
申请日：2016-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 龟田高弘
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供传感器用基板及物理量检测传感器，物理量检测传感器的耐冲击性及可靠性优异。传感器用基板的特征在于，具有：基底部；可动部，其与基底部连接；作为支承部的臂部，其在从可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从基底部起沿着可动部而延伸；第一间隙部，其具有在所述俯视时，可动部与臂部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在其中一个突出部与另一方之间具有预定的间隔；第二间隙部，其在所述俯视时，位于比第一间隙部靠基底部侧处，并具有与预定的间隔相比较宽的间隔，在第一间隙部中，在与臂部的延伸方向垂直的剖视时，可动部以及臂部中的任意一方在面对第一间隙部的一侧具有凸条部。
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公开(公告)号：CN107064556A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201611199825.6
申请日：2016-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 龟田高弘
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供传感器用基板及物理量检测传感器，物理量检测传感器的耐冲击性及可靠性优异。传感器用基板的特征在于，具有：基底部；可动部，其与基底部连接；作为支承部的臂部，其在从可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从基底部起沿着可动部而延伸；第一间隙部，其具有在所述俯视时，可动部与臂部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在其中一个突出部与另一方之间具有预定的间隔；第二间隙部，其在所述俯视时，位于比第一间隙部靠基底部侧处，并具有与预定的间隔相比较宽的间隔，在第一间隙部中，在与臂部的延伸方向垂直的剖视时，可动部以及臂部中的任意一方在面对第一间隙部的一侧具有凸条部。
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公开(公告)号：CN102809669B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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公开(公告)号：CN102809669A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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