公开(公告)号：CN1838854A

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：CN200610071796.5

申请日：2006-03-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 本间研吾 ,  中尾齐 ,  系田基树 ,  五味修 ,  铃木一弘

IPC: H05F3/06 ,  H05K9/00 ,  G21F5/00 ,  F24F7/00 ,  F24F7/06 ,  H01L21/02

CPC classification number: H05F3/06

Abstract: 本发明是一种软X线除静电装置(1)，其是向所输送的空气照射软X线并电离该空气，并容许电离的所述空气的通过且屏蔽所述软X线的软X线屏蔽结构，其中具备：收容体(20)，其具有网状(22)的流入口(23)以及网状(22)的流出口(24)、并由软X线屏蔽材构成；和多个块状部件(21)，其填充在所述收容体(20)内、并由屏蔽电磁波的物质所构成。