公开(公告)号：CN102237487A

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN201110085225.8

申请日：2011-04-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 神户雅人 ,  山冈卓实

IPC: H01L41/22 ,  B41J2/01

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  H01L27/20 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318 ,  H01L41/332 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供压电致动器的制造方法，能够减少因引出电极间的短路而引起压电致动器的驱动不良。压电元件形成工序(S5)之后，在蚀刻工序(S6)，以蚀刻残留上电极膜(83)被除去、振动板(53)不被除去的条件，把在后面的引出电极形成工序(S7)中形成的引出电极(90)间的振动板(53)的至少一部分蚀刻。即使在压电元件形成工序(S5)时，在引出电极(90)间产生蚀刻残留上电极膜(83)，蚀刻残留上电极膜(83)也会被蚀刻分断，可以保持形成在蚀刻残留上电极膜(83)的引出电极(90)间的绝缘。因此，可以得到减少了因引出电极(90)间的短路引起的压电致动器(100)的驱动不良的压电致动器(100)的制造方法。