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公开(公告)号：CN115079472A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210236262.2
申请日：2022-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L27/12
Abstract: 本发明提供电光装置和电子设备，能够实现显示品质的提高。电光装置具有：基板，其具有沿着第1方向延伸的凹部；层叠膜，其具有第1导电层、电介质层和第2导电层；第1绝缘膜；遮光膜；第2绝缘膜；以及半导体层，其包含在所述第1方向上按顺序配置的源区域、沟道区域和漏区域，从所述基板侧起按照所述层叠膜、所述第1绝缘膜、所述遮光膜、所述第2绝缘膜以及所述半导体层的顺序进行配置，所述半导体层在俯视时与所述凹部重叠，且沿着所述凹部配置。
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公开(公告)号：CN115079473B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210236325.4
申请日：2022-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 森田喜久哉
IPC: G02F1/1362 , G02F1/1368
Abstract: 本发明提供电光装置和电子设备，能够实现显示品质的提高。电光装置具有：基板，其沿着第1方向延伸，具有包含底面和侧面的凹部；层叠膜，其沿着所述凹部的底面和侧面配置，具有第1导电层、电介质层和第2导电层；第1绝缘膜，其覆盖所述层叠膜，并且一部分配置在所述凹部的内侧；遮光膜；第2绝缘膜；以及半导体层，其具有沿着所述第1方向配置的源区域、沟道区域和漏区域，从所述基板的所述凹部起按照所述层叠膜、所述第1绝缘膜、所述遮光膜、所述第2绝缘膜以及所述半导体层的顺序进行配置，所述层叠膜沿着所述凹部的底面和侧面配置，所述第1绝缘膜以填埋所述凹部内的方式配置，所述侧面的深度方向的长度大于所述底面的宽度方向的长度。
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公开(公告)号：CN115079475B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210241969.2
申请日：2022-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1362
Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备：在利用在彼此交叉的方向上延伸的槽来增大电容元件的静电电容的情况下也够容易地填埋由于槽而引起的凹部。在电光装置的基板主体(19)形成有第1槽(191)和在与第1槽(191)交叉的方向上延伸的第2槽(192、193)。电容元件(55)由层叠膜(550)构成，层叠膜(550)包含在包含第1槽(191)和第2槽(192、193)的区域中依次层叠的第1导电膜(4a)、电介质膜和第2导电膜(5a)。在第1槽(191)和第2槽(192、193)交叉时，在蚀刻时，交叉部的宽度较宽，但在第1槽(191)和第2槽(192、193)分离等不交叉的情况下，不易产生宽度较宽的部分。因此，容易通过第1绝缘膜(41)填埋槽。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115079474B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202210241967.3
申请日：2022-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1362
Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备：在以与槽重叠的方式形成电容元件的情况下，在减小了槽的开口边缘与电容元件的端部的宽度尺寸的间隙的时也能够适当地设置电容元件。在电光装置的第1基板(10)中，具有设置有槽的基板主体、在包含所述槽的区域中层叠于所述基板主体的绝缘膜、以及层叠于所述绝缘膜的层叠膜，所述层叠膜隔着所述绝缘膜沿着所述槽的侧面和底面设置。
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公开(公告)号：CN115079475A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210241969.2
申请日：2022-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1362
Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备：在利用在彼此交叉的方向上延伸的槽来增大电容元件的静电电容的情况下也够容易地填埋由于槽而引起的凹部。在电光装置的基板主体(19)形成有第1槽(191)和在与第1槽(191)交叉的方向上延伸的第2槽(192、193)。电容元件(55)由层叠膜(550)构成，层叠膜(550)包含在包含第1槽(191)和第2槽(192、193)的区域中依次层叠的第1导电膜(4a)、电介质膜和第2导电膜(5a)。在第1槽(191)和第2槽(192、193)交叉时，在蚀刻时，交叉部的宽度较宽，但在第1槽(191)和第2槽(192、193)分离等不交叉的情况下，不易产生宽度较宽的部分。因此，容易通过第1绝缘膜(41)填埋槽。
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公开(公告)号：CN115079473A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210236325.4
申请日：2022-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 森田喜久哉
IPC: G02F1/1362 , G02F1/1368
Abstract: 本发明提供电光装置和电子设备，能够实现显示品质的提高。电光装置具有：基板，其沿着第1方向延伸，具有包含底面和侧面的凹部；层叠膜，其沿着所述凹部的底面和侧面配置，具有第1导电层、电介质层和第2导电层；第1绝缘膜，其覆盖所述层叠膜，并且一部分配置在所述凹部的内侧；遮光膜；第2绝缘膜；以及半导体层，其具有沿着所述第1方向配置的源区域、沟道区域和漏区域，从所述基板的所述凹部起按照所述层叠膜、所述第1绝缘膜、所述遮光膜、所述第2绝缘膜以及所述半导体层的顺序进行配置，所述层叠膜沿着所述凹部的底面和侧面配置，所述第1绝缘膜以填埋所述凹部内的方式配置，所述侧面的深度方向的长度大于所述底面的宽度方向的长度。
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公开(公告)号：CN115079472B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202210236262.2
申请日：2022-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L27/12
Abstract: 本发明提供电光装置和电子设备，能够实现显示品质的提高。电光装置具有：基板，其具有沿着第1方向延伸的凹部；层叠膜，其具有第1导电层、电介质层和第2导电层；第1绝缘膜；遮光膜；第2绝缘膜；以及半导体层，其包含在所述第1方向上按顺序配置的源区域、沟道区域和漏区域，从所述基板侧起按照所述层叠膜、所述第1绝缘膜、所述遮光膜、所述第2绝缘膜以及所述半导体层的顺序进行配置，所述半导体层在俯视时与所述凹部重叠，且沿着所述凹部配置。
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公开(公告)号：CN115079474A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210241967.3
申请日：2022-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1362
Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备：在以与槽重叠的方式形成电容元件的情况下，在减小了槽的开口边缘与电容元件的端部的宽度尺寸的间隙的时也能够适当地设置电容元件。在电光装置的第1基板(10)中，具有设置有槽的基板主体、在包含所述槽的区域中层叠于所述基板主体的绝缘膜、以及层叠于所述绝缘膜的层叠膜，所述层叠膜隔着所述绝缘膜沿着所述槽的侧面和底面设置。
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