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公开(公告)号：CN1308744C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200410037591.6
申请日：2004-04-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/133
CPC classification number: G02F1/13458 , G02F1/1345 , G02F1/1365 , Y10T29/49174 , Y10T29/49194 , Y10T29/49208
Abstract: 本发明提供一种在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时，可同时形成的、且可获得良好的低电阻性及耐腐蚀性的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。因此，在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，通孔及跨非耐腐蚀性金属布线、露出部之上地形成的导电性无机氧化膜等电连接辅助部件可电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。
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公开(公告)号：CN1542511A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN200410037591.6
申请日：2004-04-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/133
CPC classification number: G02F1/13458 , G02F1/1345 , G02F1/1365 , Y10T29/49174 , Y10T29/49194 , Y10T29/49208
Abstract: 本发明提供一种在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时，可同时形成的、且可获得良好的低电阻性及耐腐蚀性的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。因此，在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，通孔及跨非耐腐蚀性金属布线、露出部之上地形成的导电性无机氧化膜等电连接辅助部件可电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。
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公开(公告)号：CN1155060C
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN97190713.7
申请日：1997-06-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/02052 , H01L21/67034
Abstract: 本发明的目的是提供一种新式的干燥方法以及干燥装置，在干燥半导体装置以及液晶板的基片等的干燥装置中，可以减少在干燥时产生污染的危险性，而且能够减少设备成本以及设置面积，并且能够进行成批处理。在提升槽10的上边缘的4个边中的相对的一对边比其它的边低，从而成为溢流部10a以使内部的水溢流并排到排水槽20中。在提升槽10的内侧安装棒状的加热器11，在加热器11上方配置加热器盖12，并引出一对排气管13、13，该排气管13向上至提升槽10的上方并向外部排出气体。在提升槽10的底面连接供水管14，并由后述的供水系统供给超净水。排水管21与排水槽20的下部连接，并且与由循环泵、转换阀等构成的供水控制装置22相连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1234879A
公开(公告)日：1999-11-10
申请号：CN98801039.9
申请日：1998-07-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G02F1/1362 , G02F1/13439 , G02F1/136209 , G02F2001/133354
Abstract: 一种液晶装置,具有多个象素电极(6)、和包括与这些象素电极(6)导通的元件侧电极(14)的非线性元件(11)。元件侧电极(14)具有沿象素电极(6)的边缘部的图形形状(14a)。由于该元件侧电极图形(14a)的存在,故在对象素电极(6)制成图形的时候,可以防止蚀刻液浸入该象素电极(6)与元件侧电极(14)之间使两者断线。并且,当元件侧电极图形(14a)使用比象素电极(6)遮光性还高的材料时,在使元件基片与相对基片粘合时,可将该图形(14a)用作位置调整用的标记。
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公开(公告)号：CN101013233A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200610115570.0
申请日：1998-07-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1343 , G02F1/1362
Abstract: 一种液晶装置，具有多个象素电极(6)、和包括与这些象素电极(6)导通的元件侧电极(14)的非线性元件(11)。元件侧电极(14)具有沿象素电极(6)的边缘部的图形形状(14a)。由于该元件侧电极图形(14a)的存在，故在对象素电极(6)制成图形的时候，可以防止蚀刻液浸入该象素电极(6)与元件侧电极(14)之间使两者断线。并且，当元件侧电极图形(14a)使用比象素电极(6)遮光性还高的材料时，在使元件基片与相对基片粘合时，可将该图形(14a)用作位置调整用的标记。
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公开(公告)号：CN1177251C
公开(公告)日：2004-11-24
申请号：CN98801039.9
申请日：1998-07-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G02F1/1362 , G02F1/13439 , G02F1/136209 , G02F2001/133354
Abstract: 一种液晶装置，具有多个象素电极(6)、和包括与这些象素电极(6)导通的元件侧电极(14)的非线性元件(11)。元件侧电极(14)具有沿象素电极(6)的边缘部的图形形状(14a)。由于该元件侧电极图形(14a)的存在，故在对象素电极(6)制成图形的时候，可以防止蚀刻液浸入该象素电极(6)与元件侧电极(14)之间使两者断线。并且，当元件侧电极图形(14a)使用比象素电极(6)遮光性还高的材料时，在使元件基片与相对基片粘合时，可将该图形(14a)用作位置调整用的标记。
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公开(公告)号：CN1538228A
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN200410030426.8
申请日：1998-07-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/136
CPC classification number: G02F1/1362 , G02F1/13439 , G02F1/136209 , G02F2001/133354
Abstract: 一种液晶装置，具有多个象素电极(6)、和包括与这些象素电极(6)导通的元件侧电极(14)的非线性元件(11)。元件侧电极(14)具有沿象素电极(6)的边缘部的图形形状(14a)。由于该元件侧电极图形(14a)的存在，故在对象素电极(6)制成图形的时候，可以防止蚀刻液浸入该象素电极(6)与元件侧电极(14)之间使两者断线。并且，当元件侧电极图形(14a)使用比象素电极(6)遮光性还高的材料时，在使元件基片与相对基片粘合时，可将该图形(14a)用作位置调整用的标记。
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公开(公告)号：CN1195421A
公开(公告)日：1998-10-07
申请号：CN97190713.7
申请日：1997-06-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/02052 , H01L21/67034
Abstract: 本发明的目的是提供一种新式的干燥方法以及干燥装置,在干燥半导体装置以及液晶板的基片等的干燥装置中,可以减少在干燥时产生污染的危险性,而且能够减少设备成本以及设置面积,并且能够进行成批处理。在提升槽10的上边缘的4个边中的相对的一对边比其它的边低,从而成为溢流部10a以使内部的水溢流并排到排水槽20中。在提升槽10的内侧安装棒状的加热器11,在加热器11上方配置加热器盖12,并引出一对排气管13、13,该排气管13向上至提升槽10的上方并向外部排出气体。在提升槽10的底面连接供水管14,并由后述的供水系统供给超净水。排水管21与排水槽20的下部连接,并且与由循环泵、转换阀等构成的供水控制装置22相连接。
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