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公开(公告)号：CN104884563A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201380069046.2
申请日：2013-06-21
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/3212
Abstract: 本发明涉及用于抛光铜的CMP浆料组合物，包含：抛光颗粒；络合剂；腐蚀抑制剂；和去离子水。该络合剂包含选自草酸、苹果酸、丙二酸和甲酸中的一种或多种有机酸以及甘氨酸。
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